N90系列六自由度并联机构,是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台,通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度高,是六自由度微操作、微电子精密加工等应用。N90.XYZTR5S/K是N90系列中直线与角度位移一款。
特性
• 六维θx, θy, θz, X, Y, Z轴运动 • 直线行程50μm,角度偏转2mrad • 小耦合 • 毫秒级响应时间 • 纳米级定位精度 • 误差无积累
企业名称
哈尔滨芯明天科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
230103100182279
成立日期
2007-09-12
注册资本
100
经营范围
测量仪器及控制设备、机械设备、电子产品、计算机软硬件、通讯设备、计算机网络设备、光学设备、光学仪器的技术开发、生产(仅限分支机构经营)、组装调配、销售及维修(不含特种设备、不含无线发射设备);电子设备维护、计算机网络产品的技术服务;进出口贸易(国家限制经营的除外)。