P79系列Z向样品升降压电扫描台为一维Z轴微动平台,它的移动范围可达210μm,定位分辨率可达3nm。
P79平台可对样品进行Z轴快速精密的聚焦调节,阶跃时间达毫秒量级。主要用于配套宏动XY轴运动扫描平台或压电马达平台使用,在宏动平台进行样品位置的粗调后,再通过P79压电扫描台进行样品位置的调整,定位精度达纳米量级。
两款规格型号、开环/闭环可选
P79系列Z向扫描台具有两种Z向行程范围可供选择,分别为110μm及210μm,可根据调整的运动范围进行选择。
另外,P79系统可提供开环及闭环版本。开环版本定位速度更快,且分辨率高;对于有定位精度及稳定性需求的应用,可以选择配置SGS闭环传感器,装配在平台适合的位置,提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移,确保了定位精度。
特性
• 一维Z向运动,行程210μm • 承载2kg • 通孔尺寸:128.5×86.5mm • 开环、闭环可选 • 闭环重复定位精度高
企业名称
哈尔滨芯明天科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
230103100182279
成立日期
2007-09-12
注册资本
100
经营范围
测量仪器及控制设备、机械设备、电子产品、计算机软硬件、通讯设备、计算机网络设备、光学设备、光学仪器的技术开发、生产(仅限分支机构经营)、组装调配、销售及维修(不含特种设备、不含无线发射设备);电子设备维护、计算机网络产品的技术服务;进出口贸易(国家限制经营的除外)。