P66.X60压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的压电位移平台,是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统,可达毫秒级响应、纳米级定位精度,并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用,如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等。
特性:
• 位移60μm • 承载能力6kg • 亚毫秒响应时间 • 开闭环可选
应用:
• 干涉/扫描 • 计量 • 质量保证测试 • 微加工/精密控制 • 半导体技术
P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本,闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。
传感器使用全桥配置已消除热漂移,使得该系列纳米定位台可以实现较高的线性度与重复度。
企业名称
哈尔滨芯明天科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
230103100182279
成立日期
2007-09-12
注册资本
100
经营范围
测量仪器及控制设备、机械设备、电子产品、计算机软硬件、通讯设备、计算机网络设备、光学设备、光学仪器的技术开发、生产(仅限分支机构经营)、组装调配、销售及维修(不含特种设备、不含无线发射设备);电子设备维护、计算机网络产品的技术服务;进出口贸易(国家限制经营的除外)。