核心参数
产品种类: 接触式轮廓仪/粗糙度仪
产地类别: 国产
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TFX3000 OCD是睿励科学仪器(上海)有限公司自主创新开发,具有自主知识产权的集成电路生产线300mm硅片全自动光学关键尺寸(OCD)和形貌测量系统。其在TFX3000系统基础上集成光学关键尺寸测量模块,除具有300mm全自动光学膜厚测量能力外,还可以进行显影后检查(ADI)、刻蚀后检查(AEI)等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度(SWA)、高度/深度等关键尺寸(CD)特征或整体形貌测量。可测量二维多晶硅栅极刻蚀(PO)、隔离槽(STI)、隔离层(Spacer)、双重曝光(Double Patterning)或三维连接孔(VIA)、鳍式场效应晶体管(FinFET)、闪存(NAND)等多种样品。具有高速、准确和非破坏性等特点。
企业名称
睿励科学仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310115400178289
成立日期
2005-06-27
注册资本
经营范围
研制、生产半导体设备,销售自产产品,提供相关的技术服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】