搜全站
搜展位
睿励科学仪器（上海）有限公司
关注
已关注
已认证
粉丝量 0
产品介绍
FSD300自动宏观缺陷检测系统简介
睿励微电子设备(上海)有限公司生产的自动宏观缺陷检测系统（FSD300），具有快速，准确，可靠和低成本等优点，可用于工艺及产品质量检测，从而提高硅片制造的良率和品质。
系统特性
FSD300适用于300mm硅片，两系统均可用于有图案及无图案硅片(Patterned and Un-patterned Wafers)。
可用于硅片进厂(IQC)和出厂的检验(OQC) 、化学机械抛光（CMP）、光刻(Photolithography）、刻蚀（Etch）、薄膜(Thin Film) 、硅穿孔 (TSV) 集成封装等工艺，检测出各个工艺过程里关键的缺陷。
可高速扫描硅片的全表面，自动存储硅片全景图像、缺陷分类，和输出缺陷检测结果。
大量减低工程判断耗费时间，强化工艺监控 (SPC)，并结合硅片成品管理(Ink-out)。
工商信息
企业名称
睿励科学仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310115400178289
成立日期
2005-06-27
注册资本
经营范围
研制、生产半导体设备,销售自产产品,提供相关的技术服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
睿励科学仪器（上海）有限公司为您提供自动宏观缺陷检测系统，适用于300mm硅片FSD300，nullFSD300产地为上海，属于其它测量/计量仪器，除了自动宏观缺陷检测系统，适用于300mm硅片的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其它测量/计量仪器,null客服电话，售前、售后均可联系。
联系方式：
主营产品：
友情链接：
仪器信息网APP
展位手机站