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共聚焦显微镜+半导体激光器+缺陷检测及尺寸测量

2022/07/29 13:45

阅读:292

分享:
应用领域:
半导体
发布时间:
2022/07/29
检测样品:
其他
检测项目:
晶圆缺陷、光波导关键尺寸
浏览次数:
292
下载次数:
参考标准:

方案摘要:

利用共聚焦显微镜,进行半导体激光器的晶圆缺陷检测,以及波导结构的尺寸测量

产品配置单:

分析仪器

日本Lasertec 共聚焦显微镜HYBRID L7

型号: HYBRID L7

产地: 日本

品牌: Lasertec

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方案详情:

n用户:半导体激光器元器件厂、晶圆厂 

n使用目的 晶圆缺陷检查 光波导路尺寸测量 介质层等膜厚测量 

n功能要求:外延缺陷检查/分类/追踪、高再现性形状测试、纳米级膜厚 


案例1


0729-3.png


案例2


0729-1.png


案例3

0729-2.png


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Lasertec共聚焦显微镜_应用案例_半导体激光.pdf
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