2022/07/29 13:45
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产品配置单:
日本Lasertec 共聚焦显微镜HYBRID L7
型号: HYBRID L7
产地: 日本
品牌: Lasertec
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方案详情:
n用户:半导体激光器元器件厂、晶圆厂
n使用目的: •晶圆缺陷检查 •光波导路尺寸测量 •介质层等膜厚测量
n功能要求:外延缺陷检查/分类/追踪、高再现性形状测试、纳米级膜厚等
案例1
案例2
案例3
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