各种材质的半导体晶圆的自动缺陷检查、高倍复查、3D形状测量 一台设备多工序实现。R&D到量产多场景可对应
快速检查:亚微米级感度、3inch晶圆15分完成
复查与形貌分析:物镜低倍到高倍切换;共聚焦、干涉等多种3D测量模式切换
配合Deep Learning软件实现智能分类。有图案晶圆可对应。
各种化合物晶圆、玻璃晶圆、薄膜等透明样品均适用,排除背面影响。
软件到硬件均由Lasertec提供,根据客户需求定制各种功能机。
各种材质的半导体晶圆的自动缺陷检查 缺陷复查 缺陷3D形状测定 工艺过程中缺陷追踪用途
参数
检测时间(3") 15分 检测对象 各種ウェハ(Si、SiC、GaN、InP、AIN、ガラスなど)、ガラス基板、フィルムなど 检查 共聚焦光学系、微分干涉 复查 共聚焦光学系、白光干涉、相差干涉 形状测量
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企业名称
北京信立方科技发展股份有限公司
企业信息已认证
企业类型
股份有限公司(非上市、自然人投资或控股)
信用代码
911101027770695332
成立日期
2005-06-29
注册资本
2172.589万元
经营范围
技术开发、咨询、服务;会议服务;承办展览展示活动;设计、制作、代理、发布广告,电脑动画设计,计算机方面的技术培训,销售机械设备;因特网信息服务业务(除新闻出版、教育、医疗保健、药品、医疗器械以外的内容),广播电视节目制作、人才中介服务;经营电信业务.(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动。广播电视节目制作、人才中介服务、经营电信业务以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依找准的内容开展经营活动,不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)