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核心参数
产地类别： 国产
靶材材质： 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属
靶材尺寸： 57 mm
控制方式： 手动、自动
样品仓尺寸： 128×130（mm)
样品台尺寸： 63mm直径，12个SEM底座插孔
溅射气体： 氩气/空气
1.技术参数：
输入电压 | AC220V±10%，50Hz |
工作电压 | DC2400V |
最大功率（主机与机械泵） | 500W |
| 工作原理 | 磁控溅射 |
可选靶材 | 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属 |
真空泵 | 两级直联旋片式真空泵 1L/s |
真空腔 | φ128×130mm |
样品杯 | φ90×1 / φ25×4 / φ15×6 |
整机尺寸（长×宽×高） | 424×271×255（mm） |
重量（主机） | 11 kg |
工作环境 | 温度 5～40℃，湿度<60% |
存储环境 | 温度-10~60℃，湿度<80% |
工作气体 | Air / Ar |
保护功能 | 过流、真空双保护 |
2.效果图：
2.1 陶瓷滤膜铂靶10万倍（ SU5500 ）：
2.2 喷金样品电镜观测图对比
GVC-2200: 样品形貌真实完整：
其他设备喷金的效果图（热损伤严重）：
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企业名称
北京艾博智业离子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
104554504
成立日期
2008-05-30
注册资本
50
经营范围
技术开发、技术服务、技术转让、技术咨询；计算机技术培训；经济贸易咨询；销售自行开发后的产品、机械设备、家用电器、计算机、软件及辅助设备、建筑材料；计算机系统服务；基础软件服务；应用软件服务；货物进出口、技术进出口、代理进出口。
北京艾博智业离子技术有限公司
公司地址
北京市海淀区花园路街道牡丹园小区西里院内16号楼（8号楼西侧）
客服电话
公司名称： 北京艾博智业离子技术有限公司
公司地址： 北京市海淀区花园路街道牡丹园小区西里院内16号楼（8号楼西侧） 联系人： 李英东 邮编： 100083 联系电话： 400-860-5168转5015
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