核心参数
产地类别: 国产
靶材材质: 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属
靶材尺寸: 57 mm
控制方式: 手动、自动
样品仓尺寸: 128×130(mm)
样品台尺寸: 63mm直径,12个SEM底座插孔
溅射气体: 氩气/空气
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