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核心参数
产地类别： 国产
一、产品特点：
1、面积大：0~?25毫米、0~?50毫米；
2、溅射样品表面膜层更均匀；
3、颗粒度更小（3nm左右）；
4、溅射到样品表面能量低，对样品损伤小；（适用温度敏感性高的样品）
5、可以溅射各种固体靶材（如各种金属、陶瓷、碳等）；
6、控制精度高，实验结果精准可控重复性高；
7、在同一真空腔内，可实现清洗和镀膜，降低污染样品造成的数据偏差 ；
8、加入特殊气体，可进行反应离子束刻蚀；
9、可实现的功能有：等离子清洗、镀膜等；
10、数字化自动控制系统。
二、技术参数：
1、真空度：极限真空度5*10-3Pa（不通氩气）；
2、*高压：（1）200~6000V；
3、样品台可旋转；
4、具有自保护功能；
5、单离子枪；
6、样品冷却：半导体冷却（ 选配件）。
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企业名称
北京艾博智业离子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
104554504
成立日期
2008-05-30
注册资本
50
经营范围
技术开发、技术服务、技术转让、技术咨询；计算机技术培训；经济贸易咨询；销售自行开发后的产品、机械设备、家用电器、计算机、软件及辅助设备、建筑材料；计算机系统服务；基础软件服务；应用软件服务；货物进出口、技术进出口、代理进出口。
北京艾博智业离子技术有限公司
公司地址
北京市海淀区花园路街道牡丹园小区西里院内16号楼（8号楼西侧）
客服电话
公司名称： 北京艾博智业离子技术有限公司
公司地址： 北京市海淀区花园路街道牡丹园小区西里院内16号楼（8号楼西侧） 联系人： 李英东 邮编： 100083 联系电话： 400-860-5168转5015
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