核心参数
产地类别: 国产
测量原理: 电感式
测量范围: 10nm-80μm
探针尖半径: 2μm,1μm
探针作用力: 0.5-50mg
扫描长度: 55mm
台阶高度重复性: <0.5nm
垂直方向分辨率: 0.05nm满量程
测量样品最大尺寸: 150mm;200mm;300mm
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