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泽攸科技 等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD），符合CE认证标准的三温区CVD系统，生长样品腔的管径60-120mm，它是由高温管式炉、多路高精度流量控制与供气系统、机械泵、真空密封及测量系统、尾气处理系统组成，极限真空度可达 10^-5 torr 。
主要特点：
1，优势在于各种薄膜材料、低维纳米材料等的制备（尤其适用于过渡金属二维半导体材料的生长与原位掺杂，以及多元二维材料的生长）
2，可选配远程等离子射频发生系统，可用于各种薄膜材料、低维纳米材料等的等离子体辅助生长、刻蚀加工与材料表面修饰（尤其适用于石墨烯、氮化硼等二维材料的无催化生长，缺陷调控，以及器件制作工艺中的残胶去除）
3，生长工艺设计先进，能满足任意衬底无催化生长
4，应用案例（点击跳转）
设备主要技术参数
| 温控参数 | 单位 | |
| 温度 | 1200 | ℃ |
| 功率 | 6.5 | kw |
| 温控精度 | ±1 | ℃ |
| 真空系统 | ||
| 真空泵 | 1 x 10-3 (7.5 x 10-4) | mbar (Torr) |
| 真空泵(开气镇) | 1.5 x 10-2 (1.1 x 10-2) | mbar (Torr) |
| 真空泵(使用PEPE 油) | 1 x 10-2(7.5 x 10-3) | mbar (Torr) |
| 腔体内真空度 | 优于2.0*10-2 | Torr |
| 流量控制参数 | ||
| 泄露率 | ＜4×10-9 | atm-cc/secHe |
| 分辨率 | 全量程的0.1% | |
| 响应时间气特性 | <2 | s |
| 响应时间电特性 | 500 | ms |
| 尾气吸收参数 | ||
| 材质 | 壳体铝合金、不锈钢 | |
| 吸气腔 | 聚四氟乙烯 | |
| 等离子体系统参数 | ||
| 功率输出 | 5 – 300，5 – 500 | W |
| 信号频率 | 13.56 ±0.005% | MHz |
| 反射功率 | 200 | W |
| 功率稳定度 | ±0.1% | |
| 谐波分量 | ≤-50 | dbc |
| 供电电压 | 187V – 253V —- 频率50/60HZ |
以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）的介绍，了解更多直接咨询：
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企业名称
安徽泽攸科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91340700MA2N3U8Q3E(1-1)
成立日期
2016-11-21
注册资本
7000
经营范围
仪器仪表及相关产品的研发、生产、销售，并提供相关技术服务、技术转让、技术咨询，芯片及相关产品的研发、生产、销售，并提供技术服务、技术转让、技术咨询、电子产品、办公耗材、实验室耗材、洁净设备销售，自营和代理各类商品及技术进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
安徽泽攸科技有限公司
公司地址
安徽省铜陵市经济技术开发区高新技术创业服务中心D号楼101号
客服电话
公司名称： 安徽泽攸科技有限公司
公司地址： 安徽省铜陵市经济技术开发区高新技术创业服务中心D号楼101号 联系人： 张经理 邮编： 244002
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