压电三轴纳米探针台实现了三维空间上的准确定位,它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应用于在SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。
压电三轴纳米探针台使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
三轴纳米探针台由三个单轴运动台组合而成。一个SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平台上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。
压电三轴纳米探针台应用案例:
通过压电纳米位移台的纳米精度定位,两个探针通过与样品接触,完成在SEM里实现对二维材料的电学测量。
同样的,通过压电纳米位移台也可以在更多领域完成高精度实验,例如可应用于纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等。
同时产品可以适配市面上绝大多数的SEM,例如:日本电子,日立,FEI,TESCAN等。
压电三轴纳米探针台尺寸参数 | ||
探针台外形尺寸(长*宽*高) | 107.0*75.6*43.3 | mm |
三轴外形尺寸(长*宽*高) | 48.6*33.2*38.6 | mm |
样品台面平面度 | 10 | μm |
探针台总重量 | 225 | g |
运动参数 | ||
三轴X行程 | ±10 | mm |
三轴Y行程 | ±10 | mm |
三轴Z行程 | 15.7 | mm |
运动分辨率 | 0.05 | nm |
以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电三轴纳米探针台的介绍,了解更多直接咨询:
随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展,精密定位不仅在实验室用途广泛,工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上,发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品,填补了国产空白。
一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块,通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移,可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前,在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内,团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。
企业名称
安徽泽攸科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91340700MA2N3U8Q3E(1-1)
成立日期
2016-11-21
注册资本
7000
经营范围
仪器仪表及相关产品的研发、生产、销售,并提供相关技术服务、技术转让、技术咨询,芯片及相关产品的研发、生产、销售,并提供技术服务、技术转让、技术咨询、电子产品、办公耗材、实验室耗材、洁净设备销售,自营和代理各类商品及技术进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
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