核心参数
曝光模式: 投影式
产地类别: 进口
分辨率: 250nm;300nm
光源: 氮化镓激光二极管
光源波长: 375nm; 405nm
光强均匀性: ± 0.5%
曝光面积: 最大110X110mm
MicroMaster 激光直写光刻机
MicroMaster 是一款多功能的紫外激光写入器,具有高精度的组件,专为用户在感光层上设计创建最高自由度的微结构。 MicroMaster 是一个完整的操作系统。它拥有405纳米波长光学模块,能够在光阻层中写入最小0.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式,并允许3D光学结构,表面结构以及掩模项目。 激光控制的实时自动对焦和激光强度控制,确保整个曝光过程中的高质量成像。 MicroMaster 广泛应用于半导体光刻, LED芯片, 微流控芯片, 微纳结构, 灰度光刻, 三维加工, 全息影像等多个领域。
MicroMaster 无掩模激光直写系统性能规格
Raith/矽万激光直写光刻机MicroMaster 的工作原理介绍
激光直写光刻机MicroMaster 的使用方法?
Raith/矽万MicroMaster 多少钱一台?
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企业名称
矽迈 (上海)贸 易有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
913101150545723465
成立日期
2012-09-26
注册资本
20
经营范围
机械设备及配件、电子产品、机电设备的批发、佣金代理 (拍 卖 除外)、 进出口及其它相关配套服务;区 内以电子产品为主的仓储、 分拨业务;区 内国际贸易、转 口贸易、区内企业间的贸易及贸易 代理;区 内商业性简单加工;区 内贸易咨询服务 (不 涉及国营贸 易管理商品,涉及配额、许可证管理、专项规定管理的商品按照 国家有关规定办理)。 【依法须经批准的项 目,经相关部门批准后方可开展经营活动
矽万(上海)半导体科技有限公司
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上海市松江区泗砖南路255弄130号
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