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核心参数
产地类别： 国产
光谱范围： 380-1000nm 210-1650nm 193-1650nm 210-2500nm
光斑尺寸： 200*500um 100*250um 40*80um
入射角： 65°定角
测量速度： ≦10s(单点)
样品尺寸： 4-12英寸
膜厚测量准确度： 0.5nm@100nm标片
测量重复性： ≦0.005nm
一、概述
ME-Mapping 光谱椭偏仪是一款可定制化Mapping绘制化测量光谱椭偏仪，配置全自动Mapping测量模块，通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征和分析。
■ 全基片椭偏绘制化测量解决方案；
■ 支持产品设计以及功能模块定制化，一键绘制测量；
■ 配置Mapping模块，全基片自定义多点定位测量能力；
■ 丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。
二、产品特点
■ 采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)；
■ 高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；
■ 具备全基片自定义多点自动定位测量能力，提供全面膜厚检测分析报告；
■ 数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料。
三、产品应用
ME-Mapping广泛应用OLED，LED，光伏，集成电路等工业应用中,实现大尺寸全基片膜厚、光学常数以及膜厚分布快速测量与表征。
可选配件
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| 真空泵 | 透射吸附组件 |
技术参数
颐光科技椭偏仪ME-Mapping的工作原理介绍
椭偏仪ME-Mapping的使用方法?
颐光科技ME-Mapping多少钱一台?
椭偏仪ME-Mapping可以检测什么？
椭偏仪ME-Mapping使用的注意事项？
颐光科技ME-Mapping的说明书有吗？
颐光科技椭偏仪ME-Mapping的操作规程有吗？
颐光科技椭偏仪ME-Mapping报价含票含运吗？
颐光科技ME-Mapping有现货吗？
企业名称
武汉颐光科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91420100077720022F
成立日期
2013-09-24
注册资本
1000
经营范围
光机电一体化、机械、电子、激光、仪器仪表、自动化控制、计算机软件技术及产品的开发、研制、生产、技术服务、测试服务、技术咨询及销售；光机电产品、仪器仪表、计算机及配件、机电零配件、光学零配件的零售与批发；机电零部件、光学零配件的加工；货物进出口、技术进出口、代理进出口（不含国家禁止或限制进出口的货物及技术）。（依法须经审批的项目，经相关部门审批后方可开展经营活动）
武汉颐光科技有限公司
公司地址
武汉市东湖高新区金融港四路10号6号楼
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