SE-L 光谱椭偏仪

一、概述

SE-L 是一款全自动高精度光谱椭偏仪，集众多科技专利技术，配置全自动测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析。

■ 高精度自动测量光学椭偏测量解决方案；

■ 全自动变角、调焦等控制平台，一键快速测量；

■ 软件交互式界面配合辅助向导式设计，易上手、操作便捷；

■ 丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力

二、产品特点

■ 采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)；

■ 高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集；

■ 全自动椭偏测量技术，基于行业领先电机控制技术，自动调整测量角度，高精度控制台，实现样件快速自动对准找焦；

■ 数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；

■ 数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料；

三、规格参数

四、产品应用

■ 半导体薄膜结构：介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、PZT膜，激光二极管GaN和AlGaN、透明的电子器件等；

■ 新材料，新物理现象研究：材料光学各向异性，电光效应、弹光效应、声光效应、磁光效应、旋光效应、Kerr效应、Farady效应等；

■ 平板显示：TFT、OLED、等离子显示板、柔性显示板等；

■ 光伏太阳能：光伏材料（如Si3N4、Sb2Se3、Sb2S3、CdS等）反射率，消光系数测量，膜层厚度及表面粗糙度测量等；

■ 功能性涂料：增透型、自清洁型、电致变色型、镜面性光学涂层，以及高分子、油类、Al2O3表面镀层和处理等；

■ 生物和化学工程：有机薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子层、薄膜吸附、表面改性处理等；

■ 块状材料分析：固体（金属、半导体、介质等）或液体（纯净物或混合物）的折射率n和消光系数k表征，玻璃新品研发和质量控制等。