MPI TS3000自动探针系统

MPI的TS3000是一个300毫米自动测头系统，专门用于产品工程， 故障分析， 设计验证， 晶圆级可靠性 以及 RF和mmW?应用。

TS3000功能集提供：

高温度范围-60…300°C

佳的灵活性

具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的小电缆距离，可实现更好的测量方向性

非常小的压板到卡盘高度可实现佳mmW和内部节点探测

非常小的系统占地面积，在内部集成了热力系统的冷却器

两者的结合使TS3000探针台成为MPI公司和产品工程市场所独有的。

IceFreeEnvironment™

结合了MPI的IceFreeEnvironment™，TS3000可以在-60…300°C的宽温度范围内对300mm的晶片进行MicroPositioners和/或探针卡的测试，并具有在胶片框架上进行探测的附加功能。

探针悬停控制™

MPI探针悬停控制PHC™允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制，以实现探针到晶圆/焊盘的定位。易用性通过大程度减少关键设置和测头更换操作中的错误，确保了安全的操作。

大探针台板

TS3000提供了易于使用的大型探头压板，以便以小的压板到卡盘高度容纳多达12倍的DC或4倍的RF微定位器。集成了负载拉力调谐器或更大面积的MicroPositioners，使得TS3000系统成为RF和mmW测量的理想选择。探针压板被主动冷却以避免热漂移，尤其是在300°C时。

简易晶圆装载

双前门通道和独特的卡盘设计使150、200、300毫米晶片，晶片碎片甚至小至5×5毫米IC的装卸程序变得轻松。

AUX卡盘都位于前面，可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，以提供更快，更安全，更便捷的系统控制和测试操作。关键位置处的键盘和鼠标可以在必要时控制软件，并且还可以控制Windows® 基于仪器。

 热卡盘集成

由于集成了智能冷却器，TS3000系列提供了优化的占地面积，可节省实验室中的宝贵空间。

MPI和ERS共同设计了  新型300 mm Thermal?ChuckAirCool®PRIME??技术  系列，提供了无与伦比的热灵活性，将浸泡时间减少了60％，并且提供了市场上种类多的热学产品。

减少转换时间，改善电气性能，在惰性气体气氛下更轻松地进行测试以及现场可升级性是AirCool的附加价值®PRIME热卡盘系统。

可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热力系统，该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置，以实现快速操作和即时反馈。

ERS获得专利的AC3冷却技术公司

这些卡盘结合了获得专利的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™，与市场上的其他系统相比，可大幅减少30％至50％的空气消耗。

探针卡和微型定位器–同时

单探头，用于4.5“ x 11”探头卡的薄型探头卡座以及较低的板到卡盘距离是同时使用被动/有源高阻抗探头进行探测的理想选择，尤其是在负温度下；使系统成为 设计验证 和/或 故障分析 工作的理想选择。

安全测试管理（STM）系统

独特的STM系统可防止在测试过程中打开门–测量结果很安全。在负吸盘温度期间，任何情况下都无法意外打开任何系统门。此外，智能的露点控制程序可避免冷测试期间的积聚。系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足，则STM™会自动将卡盘转换为安全模式-尽快将卡盘加热至露点以上。MPI STM™的功能是通过自动保持安全的测试环境，使TS3000的测量更加安全，可靠和方便。

仪器集成

可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW?应用中的测量动态性和方向性。

软件套件SENTIO®

MPI自动工程探针系统由独特且革新性的多点触摸操作  SENTIO控制®?软件套件  –简单直观的操作节省了大量的培训时间，“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。

对于RF应用，无需切换到另一个软件平台– MPI RF校准软件程序QAlibria® 与SENTIO完全集成®–为了遵循单一操作概念方法而易于使用。