大塚电子显微分光膜厚仪OPTM

显微分光膜厚仪OPTM series

OPTM显微分光膜厚仪是FE-3000反射分光膜厚计的第二代产品。OPTM沿用分光干涉法，可测量绝对反射率、多层膜厚、折射率和消光系数，纳米级测量，精度高。OPTM可用于FPD构件（PI膜、ITO膜、CF膜）、光触媒、汽车零件DLC膜、半导体材料氧化层、光学材料薄膜等材料的无损非接触式测量，检测时间仅需1秒。

产品特点：

◆  非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内

◆  初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式

◆  高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射     率、k：消光系数）

◆  单点对焦加量测在1秒内完成

◆  显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）

◆  独立测试头对应各种inline定制化需求

◆  最小对应spot约3μm

  ◆ 独家专利可针对超薄膜解析nk

产品参数：

反射对物镜专利：

如果是透明基板，因里面的反射光而无法正确测出膜厚。通过反射対物镜片，可物理性的消除里面反射。即使是透明基板也可测出高精度的膜厚,特别是对带有光学非均质的基板。

3微米微区测量：

在软件上通过同时显示样品画面和测定光采取部位，可很好的确认到测定点。

特别是对有微小点的形状的样品有效。（最小Φ3μm）  

自动高精度mapping样品台：

OPTM标配XY自动平台，仅需输入坐标即可自动多点检测大面积样品，实时获取厚度分布图。平台设有防误触光栏，避免检测过程误触。平台尺寸200mm×200mm，最大可以检测12寸晶圆。