场发射扫描电子显微镜Regulus8100

产品介绍：
Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点，进一步提高性能，1kV减速模式下高分辨率达到了0.8nm，15kV达到0.7nm，高低电压均可满足高分辨的观察。

主要特点：
1. 配备加速电压减速功能，的低加速电压成像能力，1kV分辨率可             达0.8nm
2. 日立E×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品
3. 配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
4. SE与BSE任意比例搭配功能

样品：AlTiC基板
加速电压：1kV
倍率：2万倍

应用领域：
1、  纳米材料；
2、  半导体器件；
3、  高分子材料；
4、  生物医学；
5、  新能源。

详细技术参数要求:

1.  运行环境：

1.1  房间温度：15 ~ 25℃

1.2  相对湿度：小于60%

1.3  适用电源：单相，220V±10%，50/60Hz，4kVA，要求连续供电

*1.4  地线：接地电阻不小于40Ω

2.  设备用途：用于样品的形貌、结构研究及样品的元素分析。

3.技术规格

3.1  组成：主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，自动变压器，冷却循环水系统，计算机，标准工具及附件。

*3.2  电子枪：冷场发射电子枪

3.3  分辨率

  *3.3.1 SE分辨率 15KV：0.7nm (工作距离4mm)

  *3.3.2 SE分辨率 1KV：0.8nm （工作距离1.5mm）

3.4 放大倍率

底片倍率：小≤20倍，大≥1,000,000倍，底片和显示器倍率可同时显示

3.5 加速电压

加速电压：0.1 ～ 30kV (100V/step，含减速)

3.6 束流：≥1pA

*3.7  物镜光阑： 4孔机械可调式，内置加热自清洁装置

* 3.8 信号检测系统

具有高位探测器、低位探测器及ExB信号选择系统，高位探头安装在物镜上方，可以按比例选择接收SE和BSE信号，可在2kV以下成背散射电子像。

3.9  样品台驱动： 5轴优中心马达驱动

      X：0-50mm，Y：0-50mm，Z：1.5-30mm，R：360°，T：-5°～70°

3.10 样品尺寸

    直径100mm

*3.11  样品换样方式

通过预抽室交换样品，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程

3.12 具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落

3.13 图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告

3.14 数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等

3.15 扫描速度：

Rapid扫描： Rapid1～Rapid2   2种

Fast扫描： Fast1～Fast2      2种

Slow扫描： Slow1～Slow7      7种

CS 扫描： CSS1～CSS7         7种

Reduce Scan

3.16 图像显示：不低于1280×960像素

3.17 图像储存：640×480，1280×960，2560×1920，5120×3840像素，照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等信息

3.18 图像类型： TIFF, BMP或JPEG

3.19 信号/图像处理功能：

像素积分改善S/N，框架积分，彩色图像显示，2色合成图像显示（保存图像），伪彩色图像显示（保存图像），针对保存图片的图像处理（灰阶变换，伽马调整，各种空间过滤处理）

3.20 保存图像处理：

可以进行图像的处理、测量和编排实验报告，捕捉的图片可存储在临时图片栏内，可选择单张存储或批量存储，可自动连续命名

3.21 自动功能：自动对焦，自动调像散，自动合轴，自动图像漂移校正

*3.22  真空系统：

排气控制：全自动真空阀

真空泵：分子泵（磁悬浮型）300L/S×1；机械泵133L/Min×1台；离子泵60L/S×1,20L/S×2台

真空度：电子枪部分优于10-7Pa；样品室部分优于10-4Pa

样品更换抽真空时间：≤1分钟

真空规：全真空规，皮拉尼规×2

保护：断电、漏电、真空保护

3.23  用户可自行完成红烘烤维护和镜筒合轴维护

4.仪器配置、附件及工具

4.1 配置要求