核心参数
产地类别: 国产
工作原理: 针描法/触针法
测量方式: 接触式
测试参数: Ra Rz Rq Rt Rc Rp Rv R3z R3y Rz(JIS) Ry Rs Rsk Rku Rmax Rsm Rmr RPc Rk Rpk Rvk Mr1 Mr2
测量范围: 640μm (-320μm~320μm) / 25200μin (-12600μin~+12600μin)
量程范围: -320μm~320μm
滤波方式: RC,PC-RC,Gauss,D-P
取样长度: 0.25,0.8,2.5mm
评定长度: Ln= lr×n n=1~5
仪器评定取样: 1000
分辨率: 0.002μm/±20μm
示值误差: ±(5nm+0.1A)
测量重复性: 不大于3%
测量工件最大高度: 300mm
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