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核心参数
仪器种类： 进口等离子清洗器
射频频率： -
功率： -
设备尺寸： W1860×D1100×H1800mm
样品腔容积： -
样品腔材质： -
工作气体： -
控制方式： -
可进行样品传输系统定制
● 操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
● 软性基板也可以进行传送操作。
● 传送速度可在Hi-Low间调节。
● 可通过网络进行远程操作（选购品）。
规格
|
型号 |
YSP63FA |
|
模式 |
RIE（DP模式选购） |
|
高频输功率 |
600W |
|
反应台尺寸 |
W385×D362mm |
|
内腔尺寸 |
W395×D378×H45mm（内尺寸） |
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反应气体 |
2进气系统（氧气、氩气） |
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反应气体流量控制 |
质量流量控制器 |
|
真空泵 |
旋转式真空泵（约500L/min） |
|
气体导入口 |
反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
|
外形尺寸 |
W1860×D1100×H1800mm |
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企业名称
柜谷科技发展（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310115323132139E
成立日期
2014-11-19
注册资本
200
经营范围
计算机软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)、机械设备、实验耗材、实验设备及其零部件、文化办公用品、日用百货的销售,建筑装饰装修建设工程设计与施工,商务信息咨询(除经纪),从事货物及技术的进出口服务,生物科技、网络科技、环保科技、计算机科技、电子科技、仪器仪表技术领域内的技术咨询、技术转让、技术服务、技术开发。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
柜谷科技发展（上海）有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号3号楼309
客服电话
公司名称： 柜谷科技发展（上海）有限公司
公司地址： 浦东新区建韵路500号3号楼309 联系人： 钱万宝 邮编： 201318 联系电话： 400-860-5168转3993
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