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核心参数
仪器种类： 进口等离子体表面处理仪
射频频率： 13.56MHz
功率： Max300W
设备尺寸： W350×D400×H500mm/W438×D520×H556mm/W438×D520×H630mm
样品腔容积： -
样品腔材质： -
工作气体： 1系统（氧气）流量计
控制方式： 手动
从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机
用途
● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通 过氧化反应，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影响）。 同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生 成-NH 2等官能基。
● 硅晶圆蚀刻。
● 材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
● 石棉预处理（膜过滤灰化）。
● 从电子设备到生化市场。
● 低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
● 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
● 表面有机物去除
特点
● RF为200 W的高性能输出类型（PR200）。
● 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
● 同步，自动调谐，操作简单（PR200）。
● 等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。
● 同步、自动调谐（PR200）。
反应腔
［例］石棉分析前处理
规格
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型号 |
PR200 |
PR300 |
PR301 |
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模式 |
DP模式，桶型 |
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控制部 |
高频输出 |
Max300W |
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频率 |
13.56MHz |
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同调方式 |
手动2轴同调方式 |
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反应部 |
反应腔 |
耐热玻璃 Φ100×160mm |
超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室 |
耐热玻璃 Φ118×160mm |
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反应气体 |
1系统（氧气）流量计 |
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控制 |
手动密闭阀 |
自动减压、自动密闭阀 |
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配管材质 |
不锈钢、特氟龙、铜、铜合金 |
不锈钢、特氟龙 |
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外形尺寸 |
W350×D400×H500mm |
W438×D520×H556mm |
W438×D520×H630mm |
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重量 |
约10kg |
约36kg |
约34kg |
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电源 |
AC100V 15A |
AC100V 7A | ||
雅马拓表面处理仪PR200/300/301的工作原理介绍
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企业名称
柜谷科技发展（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310115323132139E
成立日期
2014-11-19
注册资本
200
经营范围
计算机软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)、机械设备、实验耗材、实验设备及其零部件、文化办公用品、日用百货的销售,建筑装饰装修建设工程设计与施工,商务信息咨询(除经纪),从事货物及技术的进出口服务,生物科技、网络科技、环保科技、计算机科技、电子科技、仪器仪表技术领域内的技术咨询、技术转让、技术服务、技术开发。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
柜谷科技发展（上海）有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号3号楼309
客服电话
公司名称： 柜谷科技发展（上海）有限公司
公司地址： 浦东新区建韵路500号3号楼309 联系人： 钱万宝 邮编： 201318 联系电话： 400-860-5168转3993
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