关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转3993
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
仪器种类： 进口等离子体表面处理仪
射频频率： -
功率： -
设备尺寸： -
样品腔容积： -
样品腔材质： -
工作气体： -
控制方式： -
13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应 多种用途。
特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除
内槽
规格
| 型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等离子模式 | DP/RIE | ||
| 高频电源 | 13.56MHz | ||
| 输出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| 有效电极尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
| 电极 | 平行平板 | 2段电极（独立） | 平板（多目的） |
| 反应气体 | 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） | ||
| 真空泵（标配） | 约1000L/min | 约1500L/min | 1000 & 1500L/min |
| 安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 | ||
管路连接图
雅马拓表面处理仪 V1000/1000X/1000XS的工作原理介绍
表面处理仪 V1000/1000X/1000XS的使用方法?
雅马拓 V1000/1000X/1000XS多少钱一台?
表面处理仪 V1000/1000X/1000XS可以检测什么？
表面处理仪 V1000/1000X/1000XS使用的注意事项？
雅马拓 V1000/1000X/1000XS的说明书有吗？
雅马拓表面处理仪 V1000/1000X/1000XS的操作规程有吗？
雅马拓表面处理仪 V1000/1000X/1000XS报价含票含运吗？
雅马拓 V1000/1000X/1000XS有现货吗？
更多
企业名称
柜谷科技发展（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310115323132139E
成立日期
2014-11-19
注册资本
200
经营范围
计算机软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)、机械设备、实验耗材、实验设备及其零部件、文化办公用品、日用百货的销售,建筑装饰装修建设工程设计与施工,商务信息咨询(除经纪),从事货物及技术的进出口服务,生物科技、网络科技、环保科技、计算机科技、电子科技、仪器仪表技术领域内的技术咨询、技术转让、技术服务、技术开发。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
柜谷科技发展（上海）有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号3号楼309
客服电话
公司名称： 柜谷科技发展（上海）有限公司
公司地址： 浦东新区建韵路500号3号楼309 联系人： 钱万宝 邮编： 201318 联系电话： 400-860-5168转3993
仪器信息网APP
展位手机站