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核心参数
仪器种类： 进口等离子体表面处理仪
射频频率： 13.56MHz
功率： Max500W
设备尺寸： W438×D520×H760mm
样品腔容积： Φ215×305mm
样品腔材质： 石英
工作气体： -
控制方式： 手动
·PR500/510等离子灰化机
高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm
低温等离子·经典桶型。
PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
用途
·去除光刻胶
·部品清洗
·界面活性处理
·微研磨
·硅晶圆，玻璃基板对应
特征
·大口径（Φ215mm）石英反应腔
·小型一体化设计
·操作简单的触摸屏方式（PR510型）
规格
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型号 |
PR500 |
PR510 |
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模式 |
DP模式，桶型 |
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控制部 |
高频输出功率 |
Max500W |
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频率 |
13.56MHz |
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同调方式 |
自动协调 |
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反应部 |
反应腔 |
石英 Φ215×305mm |
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反应气体 |
2系统（O2／CF4） |
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控制 |
手动 |
触摸屏自动控制 |
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配管材质 |
不锈钢、特氟龙 |
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外形尺寸 |
W438×D520×H760mm |
参照规格书 |
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重量 |
约60kg |
参照规格书 |
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电源 |
单相AC100V 9A |
三相AC200V 8A |
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企业名称
柜谷科技发展（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310115323132139E
成立日期
2014-11-19
注册资本
200
经营范围
计算机软件及辅助设备(除计算机信息系统安全专用产品)、机械设备、实验耗材、实验设备及其零部件、文化办公用品、日用百货的销售,建筑装饰装修建设工程设计与施工,商务信息咨询(除经纪),从事货物及技术的进出口服务,生物科技、网络科技、环保科技、计算机科技、电子科技、仪器仪表技术领域内的技术咨询、技术转让、技术服务、技术开发。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
柜谷科技发展（上海）有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号3号楼309
客服电话
公司名称： 柜谷科技发展（上海）有限公司
公司地址： 浦东新区建韵路500号3号楼309 联系人： 钱万宝 邮编： 201318 联系电话： 400-860-5168转3993
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