>> 产品特点
台式小型机,PLC人机全自动控制,内置平板电极,RIE、PE模式转换,用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺,适用于实验室及小批量工业化生产。
>> 技术参数
◆ 设备外形尺寸
630(W)×650(D)×420(H)mm
◆ 仓体结构(合金铝,约30升)
290(W)×290(H)×360(D)mm
◆ 放电电极(内置电容耦合电极)
180(W) ×210(D) mm
◆ 等离子发生器
频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配
可选择40KHZ中频等离子发生器
◆ 控制系统
触摸屏(7寸)+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件, 并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统
德国莱宝(Leybold)真空泵
SMC截止阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器
◆ 压力控制
PID闭环自动稳压控制(专利技术),控制精度±1Pa
◆ 气路系统
2路工艺气体配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路
>> 相关应用
- 材料清洗、活化
- 表面改性处理
更多
企业名称
烟台金鹰科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91370685728600287M
成立日期
2001-04-29
注册资本
叁仟万元整
经营范围
等离子设备、表面处理设备、静电消除器、半导体设备、电子工业设备、工业自动化设备、水处理环保设备及配件的研发、制造、销售及维修服务;高分子材料、金属材料、无机非金属材料表面处理技术开发;等离子体材料表面处理技术咨询及技术服务;机械设备经营租赁;货物及技术进出口(国家禁止或涉及行政审批的货物与技术进出口除外)(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
烟台金鹰科技有限公司
公司地址
山东省招远市经济开发区招金路518号
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