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>> 产品特点
WB240等离子清洗机/去胶机采用专利高密度微波等离子技术，用于半导体生产中晶圆的清洁、去胶和等离子体预处理，微波等离子体清洗具有高度活性、高效，且不会对电子装置产生离子损害。
微波等离子清洗机主要用途：
·等离子体表面改性
·有机物表面等离子去胶
·邦定强度增强
·等离子体刻蚀应用
·等离子体灰化应用
·增强或减弱浸润性
·其它等离子体系统应用
>> 技术参数
◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
1000(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 仓体结构
石英，约20升
◆ 等离子发生器(德国)
频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作
◆ 控制系统
触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
英国爱德华斡旋式干泵
美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器
台湾气动真空角阀、充气阀、不锈钢真空波纹管
◆ 充气系统
美国MKS高精度电子质量流量计(3路气体配制)
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件
>> 相关应用
- 晶圆光刻胶清洗
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企业名称
烟台金鹰科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91370685728600287M
成立日期
2001-04-29
注册资本
叁仟万元整
经营范围
等离子设备、表面处理设备、静电消除器、半导体设备、电子工业设备、工业自动化设备、水处理环保设备及配件的研发、制造、销售及维修服务;高分子材料、金属材料、无机非金属材料表面处理技术开发;等离子体材料表面处理技术咨询及技术服务;机械设备经营租赁;货物及技术进出口(国家禁止或涉及行政审批的货物与技术进出口除外)(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
烟台金鹰科技有限公司
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山东省招远市经济开发区招金路518号
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