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那诺-马斯特中国有限公司

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NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统

品牌：那诺-马斯特

产地：美国

型号： NSC-3000 (A)

样本：下载

报价： ¥100万 - 150万

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核心参数

仪器种类：磁控溅射镀膜机

产地类别：进口

基片尺寸： 6 英寸

基片温度范围： 700 度

成膜厚度均匀性： <1%

极限真空： 10-7Torr

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产品介绍

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磁控溅射技术

NSC-3000（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(最高可加热到700度)功能，最大到6"旋转平台，最大可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。

NSC-3000（A）带有14”立方形铝质腔体，3个2”的磁控管，DC直流和RF射频电源。在选配方面，我们提供不锈钢腔体，260 l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。

NSC-3000（A）全自动磁控溅射系统产品特点：

不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃
70或250l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
完全的安全联锁功能
预真空锁以及自动晶圆片上/下载片

NSC-3000（A）全自动磁控溅射系统选配项：

不锈钢腔体
RF、DC溅射
RF或DC偏压（1000V）
样品台可加热到700°C
膜厚监测仪
基片的RF射频等离子清洗

NSC-3000（A）全自动磁控溅射系统应用：

晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学以及ITO涂覆
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
带RF射频等离子放电的反应溅射

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工商信息

企业名称

那诺-马斯特中国有限公司

企业信息已认证

企业类型

私营

信用代码

64640111

成立日期

2015-04-17

注册资本

10000港币

经营范围

致力于薄膜工艺应用，包括薄膜沉积、刻蚀、兆声无损清洗技术

联系方式

那诺-马斯特中国有限公司

公司地址

上海市徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号

客服电话

400-860-5168转3569

那诺-马斯特中国有限公司为您提供那诺-马斯特NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统，那诺-马斯特NSC-3000 (A)产地为美国，属于进口物理气相沉积设备，除了NSC-3000 (A) 全自动磁控溅射系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供磁控溅射系统NSC-4000 (M)、NSC-1000 磁控溅射系统、NSC-3000 (M) 磁控溅射系统,那诺-马斯特中国客服电话400-860-5168转3569，售前、售后均可联系。

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主营产品：

镀膜机其它常用设备原子层沉积设备外延系统航空/航天教学仪器

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