关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转3569
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
产地类别： 进口
靶材材质： Au，Cu，Al，Ti，Ni等金属，SiO2等介质
靶材尺寸： 1"-6"
控制方式： 自动或手动
样品仓尺寸： 10",13",14"（可定制）
样品台尺寸： 4",6",8",12"
溅射气体： Ar，O2，N2
磁控溅射技术
NSC-4000（M）磁控溅射系统概述：
NANO-MASTER杰出的溅射系统可构建成多腔体和多蒸发源的配置，在介质上溅射金属和介质材料，最大可支持200mm的衬底。系统可以配置DC直流、RF射频和Pulse DC脉冲直流等电源来进行序列溅射或共溅射。
系统使用涡轮分子泵组，工艺腔极限真空可达5 x 10-7Torr。可以通过调节靶基距，实现所需要的均匀度和沉积速率的调节。旋转样品台可提供薄膜最优的均匀性。
自动膜厚监控仪可提供以目标膜厚为工艺终点条件的全自动工艺控制，达到目标膜厚时系统将自动停止工艺。样品台最高可加热到800度，并可提供射频偏压。
NSC-4000（M）磁控溅射系统产品特点：
电抛光14"立方体或21"x21"x22"不锈钢优化蒸镀腔体
680 l/sec 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
4x 15CC pocket电子枪
电子束源和基片遮板
6KW开关电源，杰出的消弧性能
自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器
膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件
旋转样品台，提供高均匀性
带观察视窗的腔门，便于放片/取片
PC全自动控制，具有高度的可重复性
Labview软件的计算机全自动工艺控制控
多级密码保护的授权访问设计
EMO保护以及完全的安全联锁
NSC-4000（M）磁控溅射系统选配项：
基板支持加热(最高可达800°C)或冷却
支持旋转GLAD斜角入射沉积
腔体尺寸可定制
1.5-5KW脉冲之流电源用于ITO/ZnO等类似材料
倾斜磁控枪
射频偏压样品台
离子源用于基片预清洗
离子辅助溅射
增加RF电源和DC电源用于共溅射
增加热蒸发源和电子束蒸发源
增加MFC用于反应溅射
自动上下片
其它包含冷泵等的各种真空泵选配
NSC-4000（M）磁控溅射系统应用：
晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
光学涂覆和ITO涂覆
保护涂层
带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂层
微电子图案
OLED应用中的TCO透明导电薄膜** 硬涂层
用户单位
采购时间
采购数量
中科院深圳先进院
2016/11/18
1
江苏大学
2016/03/01
1
那诺-马斯特离子溅射仪NSC-4000 (M)的工作原理介绍
离子溅射仪NSC-4000 (M)的使用方法?
那诺-马斯特NSC-4000 (M)多少钱一台?
离子溅射仪NSC-4000 (M)可以检测什么？
离子溅射仪NSC-4000 (M)使用的注意事项？
那诺-马斯特NSC-4000 (M)的说明书有吗？
那诺-马斯特离子溅射仪NSC-4000 (M)的操作规程有吗？
那诺-马斯特离子溅射仪NSC-4000 (M)报价含票含运吗？
那诺-马斯特NSC-4000 (M)有现货吗？
更多
企业名称
那诺-马斯特中国有限公司
企业信息已认证
企业类型
私营
信用代码
64640111
成立日期
2015-04-17
注册资本
10000港币
经营范围
致力于薄膜工艺应用，包括薄膜沉积、刻蚀、兆声无损清洗技术
那诺-马斯特中国有限公司
公司地址
上海市徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号
客服电话
公司名称： 那诺-马斯特中国有限公司
公司地址： 上海市徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号 联系人： 吴先生 邮编： 200237 联系电话： 400-860-5168转3569
仪器信息网APP
展位手机站