核心参数
自动化度: 全自动
FT-3110系列全自动四探针测试仪
一.功能描述:
四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.
FT-3110系列全自动四探针测试仪
二.适用范围
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.
FT-3110系列全自动四探针测试仪
三.技术参数:
规格型号 | FT-3110A | FT-3110B |
1.电阻 | 10^-5~2×10^5Ω | 10^-6~2×10^5Ω |
2.方块电阻 | 10^-5~2×10^5Ω/□ | 10^-6~2×10^5Ω/□ |
3.电阻率 | 10^-6~2×10^6Ω-cm | 10-7~2×106Ω-cm |
4.测试电流 | 0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,
10mA,100mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
5.电流精度 | ±0.1% | |
6.电阻精度 | ≤0.3% | |
7.PC软件操作 | PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、 报表生成等 | |
8.压力范围: | 探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调 | |
9.探针 | 针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3% 圆头铜镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制 | |
10.可测晶片 尺寸选购
| 晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm); 方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm | |
11.分析模式 | 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 | |
12.加压方式 | 测量重复性:重复性≤3% | |
13.安全防护 | 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 | |
14.测试环境 | 真空 | |
15.电源 | 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W | |
16.选购项目 | 电脑和打印机 |
瑞柯四探针测试仪FT-3110A的工作原理介绍
四探针测试仪FT-3110A的使用方法?
瑞柯FT-3110A多少钱一台?
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企业名称
宁波瑞柯微智能科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91330205MA2KPTK87Y
成立日期
2021-09-29
注册资本
贰佰万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表制造;其他通用仪器制造;电子元器件与机电组件设备制造;通用设备制造(不含特种设备制造);机械零件、零部件加工;五金产品制造;电子元器件制造;仪器仪表销售;五金产品批发;五金产品零售;机械设备销售;机械零件、零部件销售;电子元器件与机电组件设备销售;电子产品销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;软件开发;货物进出口;技术进出口;进出口代理;仪器仪表修理;通用设备修理(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。
宁波瑞柯微智能科技有限公司
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宁波市江北区慈城镇张嘉路91弄9号
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