核心参数
自动化度: 半自动
方块电阻测量范围: 10^-6~2×10^5Ω/□
方阻测量精度: ≤0.3%
电阻率测量范围: 10-7~2×106Ω-cm
电阻率测量精度: ≤ 0.3%
基板尺寸: 1500mm*1850mm
测试电流范围: 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
测试电流精度: ±0.1%
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