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核心参数
检测参数： 多参数
便携性： 台式
电导率测量范围： 10-6
TDS测量范围： 1
电阻率测量范围： 10-6
盐度测量范围： 1
温度测量范围： 10-5
精确度： 1
最小分辨率： 3%
FT-3110系列全自动四探针测试仪
一.功能描述：
四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择；真空环境，可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.
二.适用范围
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
三.技术参数：
规格型号 | FT-3110A | FT-3110B |
1.电阻 | 10^-5～2×10^5Ω | 10^-6～2×10^5Ω |
2.方块电阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ |
3.电阻率 | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm |
4.测试电流 | 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，
10mA，100mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
5.电流精度 | ±0.1% | |
6.电阻精度 | ≤0.3% | |
7.PC软件操作 | PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、 报表生成等 | |
8.压力范围： | 探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调 | |
9.探针 | 针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3% 圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制 | |
10.可测晶片 尺寸选购
| 晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm | |
11.分析模式 | 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 | |
12.加压方式 | 测量重复性：重复性≤3% | |
13.安全防护 | 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 | |
14.测试环境 | 真空 | |
15.电源 | 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W | |
16.选购项目 | 电脑和打印机 | |
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企业名称
宁波瑞柯微智能科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91330205MA2KPTK87Y
成立日期
2021-09-29
注册资本
贰佰万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;仪器仪表制造;其他通用仪器制造;电子元器件与机电组件设备制造;通用设备制造(不含特种设备制造);机械零件、零部件加工;五金产品制造;电子元器件制造;仪器仪表销售;五金产品批发;五金产品零售;机械设备销售;机械零件、零部件销售;电子元器件与机电组件设备销售;电子产品销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;软件开发;货物进出口;技术进出口;进出口代理;仪器仪表修理;通用设备修理(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。
宁波瑞柯微智能科技有限公司
公司地址
宁波市江北区慈城镇张嘉路91弄9号
客服电话
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