Interfacial Structures and Properties of 2D Materials with Atomic Force Microscopy（4）- Intercalated Structures讲座内容简介：   近年来，由于其潜在的巨大应用价值，关于二维层状材料的基础和应用研究方兴未艾，核心工作是理解和控制其多种多样的有趣性质。之前的研究工作主要集中在二维材料的面内结构，多种多样的层间相互作用在调控其力学、电学、热学以及光学等性质方面也有重要作用。虽然已有许多实验和理论研究工作来表征和理解这些界面结构，但对于界面行为是如何影响其物理与化学行为的仍然不是特别清楚。一个重要原因是，内部界面结构的直接微观成像和性质研究在实验技术上是相对比较困难的。石墨烯内部界面水分子插层的高分辨成像研究   在之前，报告人已经针对的AFM的基础知识、基本模式以及功能化AFM探测模式进行了介绍。本系列报告，将基于我们在原子力显微术的技术研究工作，利用多种先进原子力显微术针对二维材料的本征界面、异质界面以及材料/基底界面开展的研究工作。在每次报告中，我们首先将在较为详细地介绍主要使用的先进AFM模式的基本原理、技术实现及其相关应用。在此基础上，介绍我们利用该AFM模式所开展的关于二维材料界面结构与性质方面的研究工作。希望通过本系列报告有助于相关AFM使用者能够利用比较复杂的AFM功能模式开展研究工作。   本次报告是《二维材料界面结构与性质的原子力探针显微学研究》系列的第四次报告。在本次报告中，将介绍我们通过发展和利用多频原子力显微术，针对二维材料体系的内部界面插层结构等的高分辨成像表征和力学性质探测开展的一些工作。  #主讲人介绍   程志海，中国人民大学物理学系教授，博士生导师，基金委优青，中国仪器仪表学会显微仪器分会理事，中国硅酸盐学会微纳米分会理事。2007年，在中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室获凝聚态物理博士学位。2011年8月-2017年8月，国家纳米科学中心(中科院纳米标准与检测重点实验室)，任副研究员/研究员。曾获中国科学院“引进杰出技术人才计划”（技术百人计划）和首届“卓越青年科学家”，卢嘉锡青年人才奖获得者，青年创新促进会会员并获首届“学科交叉与创新奖”等。目前，主要工作集中在先进原子力探针显微分析技术方法及其在低维材料与表界面物理等领域的应用基础研究。网络讲座时间：北京时间 2021年11月29日   上午10：00-上午11:00申请方法：请关注“Park原子力显微镜”公众号查看首页内容，即可参与。

摘要：原子力显微镜（AFM）轻敲模式（TM）成像过程中，针尖与样品间的非线性相互作用会导致探针检测信号的频谱中出现各种倍频分量，即高次谐波信号。利用高次谐波信号的幅度/相位信息进行成像，可以表征样品表面精细结构和分析研究样品表面纳米力学性质。报告介绍了利用小波变换对高次谐波信号特性开展的分析研究，以及几种常用的对微弱高次谐波信号增强放大、提取的方法。最后，展示了研制的高次谐波成像系统及其在样品表征中的应用。报告人：北京航空航天大学物理学院钱建强教授钱建强，北京航空航天大学物理学院教授，博士生导师。中国仪器仪表学会显微仪器分会理事，中国宇航学会空间遥感专业委员会委员，全国高等学校光学教学研究会理事，主要从事纳米测量方法与显微仪器技术研究。上世纪90年代初师从姚骏恩院士，研制成功国内首批激光检测原子力显微镜。近年来承担并完成国家科技支撑计划重大课题子课题、国家863、国家自然科学基金、北京市自然科学基金等项目20余项。先后研制成功基于自激励和自感知的石英音叉探针频率调制原子力显微镜，原子力显微镜液相环境频率调制成像系统，原子力显微镜高次谐波/多频激励成像系统。率先开展了基于压缩感知的原子力显微镜成像方法研究，基于小波变换的原子力显微镜高次谐波信号分析。在Nanotechnology、 Ultramicroscopy、Review of Scientific Instruments等国内外学术期刊发表论文100余篇，获授权国家发明专利15项，主编并出版工信部“十二五”规划教材1部。网络讲座时间：北京时间 2021年10月21日   上午10：00-上午11:00申请方法：关注“Park原子力显微镜”公众号查看首页文章进行注册即可参加。届时直播间会抽送十位赠送精美礼物。

近两年随着贸易摩擦的频发，中美科技之争给世界分工带来了巨大冲击。宏观来看，由于十四五”规划文件的牵引、地方政策的支持以及国产采购的倾斜，支持支持国产仪器的发展似乎已经成为政府、市场以及公众的共识。巨浪之下，外资企业在中国市场是否会面临更复杂的挑战，该如何应战？又该如何制定更佳的本土化策略……这些问题已然站在风口浪尖，由此仪器信息网特别发起“外资企业本土化”活动，广泛征集各外企高层高瞻远瞩的观点。韩国Park原子力显微镜自2017年在北京设立北京代表处以来，短短四年间，系列本土化策略开展及业绩的快速增长业界有目共睹。以下，仪器信息网特别邀请Park原子力显微镜大中华区销售总经理梁埈豪针对“外资企业本土化策略”发表观点，分享他眼中Park原子力显微镜的中国本土化。Park原子力显微镜大中华区销售总经理梁埈豪Instrument:贵公司哪年正式进入中国市场，中国市场的销售额在公司整体业绩中的占比多少，贵公司怎样定位中国市场呢？2002年 帕克（Park,以下称为帕克）科研型原子力显微镜进入中国市场，2017年成立北京代表处， 帕克工业全自动原子力显微镜进入中国市场。中国市场的销售份额在全球公司整体业绩中有重大占比。中国的半导体市场是新兴的朝阳产业， 帕克把中国市场作为第一优先市场。中国市场的队伍也在不断壮大。帕克原子力显微镜北京代表处自2017年从最初的3人发展到现在的近40人。为了更好地服务中国市场，韩国帕克总部中国工程师比例也占了总职员人数的百分之十五。Dr. Sang-il Park在中国分享报告疫情发生前，帕克公司CEO朴尚一博士（Dr. Sang-il Park）每年来中国一次以拜访中国重要客户。疫情发生后，CEO朴尚一博士也都定期通过电话拜访重要客户，以期长期合作。帕克产品定位于计量型原子力显微镜、平板扫描器以及帕克独有的非接触成像模式。帕克拥有一流的售后团队，在中国区建立有7个配件仓库，分别位于北京、上海、广州、合肥、武汉、台湾新竹和台南。与此同时，今年八月份在中国建立了亚太区的售后维修中心。帕克是原子力显微镜的开发者，1986年研制了世界首台商用原子力显微镜。继而一直致力于原子力显微镜技术的研发与应用 ，目前已覆盖高新科技产业等多个领域。而这种科技创新的脚步将永不辍息。产品定位：侧重于纳米领域的形貌&力学测量和半导体先进制成工艺的计量的新技术新产品的开发。Park独有的技术是将XY和Z扫描器分离，实现探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，快速成像还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本。企业定位：致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供完善的解决方案。Park的原子力显微镜以高尖端产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。竞争定位：公司会不停升级产品，提高产品的不可替代力。除此之外，公司将定期深入调研，调研各类用户群体购买原子力显微镜产品的购买力、价格敏感度、品牌偏好、采购渠道、采购频率等，来满足客户的个性化需求。综上，以此来提高市场份额和市场影响力。客户定位：原子力显微镜可以在真空、超高真空、气体、溶液、电化学环境、常温和低温等环境下工作，因此具有较广的应用范围。比如：材料科学领域、聚合物科学领域、半导体工业领域、电化学领域、生命科学领域等。这些领域的研究者都可以使用该显微镜进行科学研究，以此取得更快更佳的研究成果。Instrument:一直以来，贵公司在中国坚持什么样的发展战略，开展了哪些具有代表性的本土化工作，取得哪些重要进展和重大成就?具体工作比如，短短几年内增加了近30位售后工程师，3个测试实验中心，并在基地建立备件仓库和亚太售后维修中心，为客户免费测试样品，展现机器性能（demo中心）等。在本土化的工作中，我们引以为豪是一流的产品以及优秀的售后服务。不断更新换代的产品能满足用户多样化的研发需求。而我们的售后中心能快速响应顾客故障诊断，快速实现硬件更换。值得一提的是，我们覆盖半导体先进制程的大部分客户，甚至在一些特殊的半导体领域处于垄断地位。Instrument:贵公司在中国是否设立了生产制造基地？在未来发展的蓝图里，我们有建立生产制造基地的计划。目前我们先建立售后维修中心，以此为起点，实现帕克产品在中国生产。Instrument:请从产品技术等方面介绍贵公司在中国的本土化研发或创新情况。公司目前人员规模在不断壮大。经典产品如NX-Wafer是一款同时配有缺陷检测仪和轮廓仪的低噪声高通量原子力显微镜，可以进行快速可靠的纳米级EPI质量控制，用于窄沟槽轮廓的精确测量，为其提供全自动原子力显微镜解决方案，并且可以进行2，4，6，8，12寸全自动化测量。帕克NX系列的所有产品都致力于新技术新产品（在纳米领域的形貌&力学测量和半导体先进制程工艺的计量方面）的研发。帕克为中国用户提供定制化的本土服务，竭尽全力满足顾客的需求。Instrument:最近几年，科学仪器已成为科技界关注的焦点之一，您认为当前中国科学仪器市场的营商环境发生了怎样的变化，外企面临哪些新的挑战，又将迎来哪些利好机遇？近年来，中国成为全球实验室分析仪器市场增长最快的地区。科技创新是各国提高综合国力的关键力量，科学仪器与国家战略密切相关。科学仪器作为国家科技进步的基石，中国的研发强度每年都呈增长的趋势。中国实验室分析仪器市场有望继续增加，作为外企，帕克也在积极寻求本土化的方案。在保有产品特色的基础上，积极引进人才，着重技术研发，掌握核心技术，竭力为多样化的用户需求提供定制性服务。中国仪器的发展得到了国家政府的大力支持，取得了飞速的发展。这对帕克来说是很好的机遇，可以为中国用户提供高分辨率高解析的原子力显微镜，并为其带来专业优质的产品体验。Instrument:您是如何看待中国科学仪器市场未来的发展方向？针对这些发展趋势，贵公司会有哪些具体的本土化计划?受疫情的影响，智能制造将会得到大幅度的发展。帕克作为科技企业也由此获得了崭新的发展机遇。FX40 自动换针（上）和激光对焦（下）2021年6月，帕克针对研究领域推出一款新型全自动原子力显微镜——Park FX40。该显微镜拥有智能的自动化性能。比如：先进的双摄像头系统可自动校准探针和样品的位置、自动更换探针、自动识别扫码、自动进行激光校准等。除此之外，原子力显微镜中最快速精确的真正非接触模式展现了一流的控制力，距离更是达到了亚米级别。专为FX设计的Park OS SmartScan软件，只需通过简易的单击成像就能为用户提供最佳体验。我们将加速技术升级，竭心尽力于研发。接下来会有不同的新品推出来满足不同用户的需求。以售后维修中心为契机，早日实现中国地区的本土化生产，让公司的蓝图更加的绚丽多彩！

*以下应用说明基于 ACS Nano publication, 2021 15, 6, 9482–9494. 出版日期: May 27, 2021. 介绍    在传统的平面硅场效应晶体管（FET）中，当其横向尺寸小于晶体管厚度时，栅极可控性变弱，从而导致不利的短沟道效应，包括漏电流、沟道中载流子迁移率饱和、 沟道热载流子退化和 介质层时变击穿。因此，需要减小晶体管主体厚度以确保有效的栅极静电控制。理论研究表明，由于二维 (2D) 材料的原子厚度和表面懸鍵，特别是二维过渡金属二硫属化物 (TMD) 作为沟道材料的性能优于硅，能够实现原子级尺度，优异的静电门控，降低断电功耗，进一步扩展摩尔定律。[1-6]    表征沉积态二维材料的内在物理和电学特性的适当技术是沉积态二维材料的质量与基于二维材料的电子设备性能之间的关键联系。此联系可以帮助我们更好地了解、控制和改进基于二维材料的设备的性能。然而，在没有任何转移和图案化过程的情况下，在纳米尺度上分析沉积态二维材料的固有电学特性的技术是有限的。    在本应用说明中，扫描探针显微镜 (SPM) 用于研究沉积态二维TMD 的固有电学特性。 导电原子力显微镜 (C-AFM) 无需任何图案化，直接在生长态二维材料表面进行扫描。 C-AFM 能够将生长态二维材料的电导率与其形貌相关联，从而将二维材料的电特性与其物理特性（如层厚度等）联系起来。所有这些，C-AFM为我们提供了沉积态2D材料的全面信息，并帮助我们评估这些固有特性对基于二维材料的纳电子学的影响。实验细节      Park NX-Hivac   在高真空（~10-5Torr）下，用 C-AFM 在 Park NX-Hivac AFM 上使用 Pt/Ir 涂层的硅探针（弹簧常数 k~3N/m，共振频率 f0~75kHz，PPP-EFM）评估蓝宝石上生长态 MoS2和WS2层的固有电学特性。高真空环境有助于减少样品上始终存在的水层。[4,6] 将C-AFM测量的偏压施加到样品卡盘上，并通过线性电流放大器测量产生的电流。收集所有 C-AFM 电流图所施加的偏压均为1 V。在样品的顶部和侧面涂上银漆，以确保电接触。结果与讨论   在 C-AFM 电流图（图 1b）中，同轴切割蓝宝石上沉积的 MoS2 层在整个表面上显示出非均匀导电性，尽管图 1a 中的形貌显示了完全聚结的单层 MoS2 ，其顶部约有~37%的表面晶体（命名为1.3 ML）。通过引入离轴 1º 切割蓝宝石作为衬底，MoS2 层的电导率变得更加均匀， 与它们更均匀的表面结构一致（图 1c 和 d）。 总体而言，离轴 1º 切割蓝宝石上约~83% 的单层 MoS2 具有更高的电导率，而使用同轴上切割蓝宝石仅占 51%。 [7] 电导率较低的区域在图 1b、d 中用粉红色标记，阈值电流约为 ~0.3 μA。 因此，通过引入离轴 1º 切割蓝宝石（图 1b、d 中的 49% 到 17%） 可降低较弱导电区域的密度。图1.（a，c）分别在同轴和离轴1º切割蓝宝石上生长的1.3 ML MoS2的C-AFM形貌图(b、 d）同时与（a，c）一起获得的 C-AFM 电流图。通过电流阈值（~0.3μA），第一单层MoS2中的非均匀和导电性较弱区域以粉红色突出显示。经许可复制图像。[7] Copyright 2021, American Chemical Society.通过跳过蓝宝石晶片的预外延处理过程，该密度可以进一步降低到约~6.5%（图 2a-b）。具有较低电导率的 MoS2 区域的形状不是随机的，而是对应于特定的下层蓝宝石阶地。离轴 1º 切割蓝宝石上具有较低 MoS2 电导率的区域对应于聚集在一起的阶地。在预外延处理和 MOCVD 过程中，台阶会分解和凝聚。台阶（变形）成型主要由预外延处理和 MOCVD 工艺中使用的高温驱动。正如对离轴 1º 切割蓝宝石所预期的那样，随着 Wterrace 变窄，阶梯聚束变得更可能发生。当单层 MoS2 沉积在离轴 1º 切割蓝宝石上而不进行任何预外延处理时，高导电区域的密度从 83%（图 1d）进一步增加到 93.5%（图 2b）。可以观察到成束台阶（具有更高的 Hterrace，图 2a 中的 5.8%）和导电性较弱的区域（图 2b 中的暗区为 6.5%）之间存在明显的相关性。从图 2c 中的地形和电流图提取的横截面轮廓进一步支持了这一观察结果。然而，在图 2b 中没有完全去除导电性较弱的区域。这应该与生长温度（在我们的工作中为 1000 °C）有关，该温度足以在沉积过程中在蓝宝石表面引入阶梯聚束。[8-10]图2. 蓝宝石上生长的MoS2的不均匀导电性. (a-b）C-AFM 形貌图，同时获得离轴1º切割蓝宝石上1.3 ML MoS2 的电流图. (c）（a-b）位置处的相应横截面高度（红色）和电流（蓝色）剖面. (d- e）形貌图，同时获得同轴切割蓝宝石上3.5 ML MoS2的电流图。经参考文献[7]许可，对图像进行了改编。 Copyright 2021, American Chemical Society.关于观察到的 MoS2 电导率分布的不均匀性，我们发现非封闭顶层中 MoS2 晶体的存在不会影响电导率。 事实上，具有较低电导率的 MoS2 区域与 MoS2 层厚度几乎保持不变，因为它们也存在于 3.5 ML MoS2 中（图 2d-e）：形貌和当前图像中黄色虚线区域的比较表明，MoS2 晶体具有非封闭顶层中方向错误的基面不会影响该区域的导电性。 此外，值得注意的是，不同电导区域的存在不仅出现在 MoS2 外延层中，也出现在蓝宝石上生长的 MOCVD WS2 层中，如图 3 所示。图3.（a-b）同轴切割蓝宝石的形貌图和同时获得的1.7 ML WS2电流图。经参考文献[7]许可，对图像进行了改编。 Copyright 2021, American Chemical Society.因此，较低的导电性主要与完全闭合的第一MoS2单层有关，而不是与非闭合的顶层有关。图4a-b显示了两个第二层MoS2晶体，其中一些区域具有较高的导电性，而另一些区域具有较低的导电性，从而进一步支持了这一点。图4.（a-b）在同轴切割蓝宝石上生长的1.3 ML MoS2上第2-3层MoS2岛的导电性。(a）在同轴切割蓝宝石上生长的MoS2的形貌及其相应的（b）电流图。白色的晶体轮廓显示部分区域具有较高的导电性，部分区域具有较低的导电性，表明表面晶体对蓝宝石上MoS2的不均匀导电性贡献不大。(c-f）轴切割蓝宝石上生长的1.3 ML MoS2的降解。(c-d）MOCVD生长后立即收集的1.3 ML MoS2的1 V下的形貌图及其相应的电流图。(e-f）在氮气柜中储存6个月后，同一样品在1 V下的形貌图和电流图。在（c）中没有氧化区，但在（e）中MoS2被部分氧化，这总是与（f）中的较弱导电区相关。经参考文献[7]许可，对图像进行了改编。 Copyright 2021, American Chemical Society.结果表明，蓝宝石起始表面的状态是决定第一层MoS2单层物理和电学性能的关键参数之一。结论通过 C-AFM 评估二维 TMD的固有电学特性，并将其与样品形貌联系起来。我们在沉积的二维 TMD 单层中发现了非均匀导电性，这可能源于：（i）TMD 层厚度变化导致的TMD 表面粗糙度； (ii）蓝宝石表面形貌引起的 TMD 应变；(iii）由于每个蓝宝石阶地的 TMD 形核率的依赖性，TMD 晶粒内缺陷率；（iv）蓝宝石表面结构和终端引起的 TMD 界面缺陷，可能导致不同的局部掺杂效应。进一步的研究正在进行中，将 C-AFM 与先进的光谱技术（如拉曼、PL和TOFSIM）相结合，以进一步探索外延二维材料的固有特性。参考文献 (1) Liu, Y.; Duan, X.; Shin H.-J.; Park, S.; Huang, Y.; Duan, X. Promises and Prospects of Two-Dimensional Transistors. Nature 2021, 591, 43–53.(2) Su, S.-K.; Chuu, C.-P.; Li, M.-Y.; Cheng, C.-C.; Wong, H.-S. P.; Li, L.-J. Layered Semiconducting 2D Materials for Future Transistor Applications. Small Struct. 2021, 2, 2000103.(3) Akinwande, D.; Huyghebaert, C.; Wang, C.-H.; Serna, M. I.; Goossens, S.; Li, L.-J.; Wong, H.-S. P.; Koppens, F. H. L. Graphene and Two-Dimensional Materials for Silicon Technology. Nature 2019, 573, 507–518.(4) Agarwal, T.; Szabo, A.; Bardon, M. G.; Soree, B.; Radu, I.; Raghavan, P.; Luisier, M.; Dehaene, W.; Heyns, M. Benchmarking of Monolithic 3D Integrated MX2 FETs with Si FinFETs. In 2017IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM); 2017; p 5.7.1–5.7.4.(5) Smets, Q.; Arutchelvan, G.; Jussot, J.; Verreck, D.; Asselberghs, I.; Nalin Mehta, A.; Gaur, A.; Lin, D.; Kazzi, S. E.; Groven, B.; Caymax, M.; Radu, I. Ultra-Scaled MOCVD MoS2 MOSFETs with42nm Contact Pitch and 250μA/Mm Drain Current. In 2019 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM); 2019; p 23.2.1–23.2.4.(6) Smets, Q.; Verreck, D.; Shi, Y.; Arutchelvan, G.; Groven, B.; Wu, X.; Sutar, S.; Banerjee, S.; Nalin Mehta, A.; Lin, D.; Asselberghs, I.; Radu, I. Sources of variability in scaled MoS2 FETs. In 2020 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM); 2020; p 3.1.1–3.1.4.(7) Shi, Y.; Groven, B.; Serron, J.; Wu, X.; Nalin Mehta, A.; Minj, A.; Sergeant, S.; Han, H.; Asselberghs, I.; Lin, D.; Brems, S.; Huyghebaert, C.; Morin, P.; Radu, I.; Caymax, M. Engineering Wafer-Scale Epitaxial Two-Dimensional Materials through Sapphire Template Screening for Advanced High- Performance Nanoelectronics. ACS Nano 2020, DOI: 10.1021/ acsnano.0c07761.(8) Cuccureddu, F.; Murphy, S.; Shvets, I. V.; Porcu, M.; Zandbergen, H. W.; Sidorov, N. S.; Bozhko, S. I. Surface Morphology of C-Plane Sapphire (α-Alumina) Produced by High Temperature Anneal. Surf. Sci. 2010, 604, 12941299.(9) Curiotto, S.; Chatain, D. Surface Morphology and Composition of C-, a- and m-Sapphire Surfaces in O2 and H2 Environments. Surf. Sci. 2009, 603, 2688–2697.(10) Ribič, P. R.; Bratina, G. Behavior of the (0001) Surface of Sapphire upon High-Temperature Annealing. Surf. Sci. 2007, 601, 44–49.想要了解更多内容，请关注微信公众号：Park原子力显微镜，或拨打400-878-6829联系我们Park北京分公司 北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室   Park上海实验室 上海市申长路518号虹桥绿谷C座305号   Park广州实验室 广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211

充分发挥潜力通过边带KPFM对分子聚集体进行电势成像Ilka M. Hermes, Andrea CerretaPark Systems Europe GmbH, Mannheim, Germany  功函数是一种材料特性，可用于区分复合材料中的单一成分或用于区分样品与基体。开尔文探针力显微镜（Kelvin probe force microscopy，KPFM）能利用已知的探针功函数，以纳米分辨率去成像样品表面功函数分布。在这里，我们介绍了Park Systems 研究型原子力显微镜中新开发的边带KPFM(Sideband KPFM)。边带KPFM显著提高了电势的灵敏度和空间分辨率，从而提高了KPFM测量的准确性和可靠性。  半氟化烷烃由两个链段组成–(CF2)xF和(CH2)yH 嵌段。FxHy 在水中和固体基质上以不同的形态自组装。因此，对半氟化烷烃（如F14H20）的研究有助于对自组装的一般理解。由于F14H20的电偶极子导致F14H20与衬底之间存在明显的表面电势差，所以开尔文探针力显微镜（KPFM）非常适合于自组装F14H20结构的纳米级可视化研究。  KPFM是一种扫描探针显微镜技术，它能同时捕捉样品的表面形貌和表面电势。对于KPFM，振荡的导电探针在扫描样品表面的同时会施加交流电压，用来检测由表面电势局部变化引起的针尖和样品之间的静电力变化。为了最小化所侦测到的静电力，外加直流偏压可以抵消扫描的每个点上针尖和样品之间的接触电势差。基于外加直流偏压，在KPFM信号中重构了样品的表面电势分布。如果已知导电探针的功函数，那么电势分布就可以转换为样品的功函数分布。静电力的检测方法决定了KPFM中表面电势的分辨率和精度。  在非共振KPFM中，交流电压以远离悬臂共振的频率调制静电力，用于形貌成像（图1a）。然后通过交流频率下的振幅来检测力。通过施加与针尖和样品之间的电势差所相匹配的直流偏压，可以消除交流频率下的振幅，从而消除静电力。然而，KPFM信号对长程力的依赖性降低了测量的灵敏度，因为样品和悬臂之间的非局部相互作用可以叠加在局部信号上。  对于边带KPFM，我们采用低频交流电压（2-5kHz）来调制静电力梯度。调制力梯度引入了悬臂共振左右两侧的频率边带（图1b）。与非共振KPFM类似，边带KPFM通过施加与电势差相匹配的直流偏置来抵消这些边带的振幅。通过检测短距离的力梯度来取代长程力梯度，可以减小长距离串扰，提高横向分辨率和局部电势灵敏度。图1：非共振KPFM(a)和边带KPFM(b)的频谱示意图。边带KPFM检测电极阵列在F14H20上进行测量之前，为了测试边带KPFM的电势分辨率和精度，我们在金电极阵列的相邻电极上施加了不同的电压（0V和-2V）（图2a）。图2b中样品形貌和边带KPFM电势的叠加说明了在两个电极上检测到的不同电势：左侧电极显示约0V的亮电势对比度，右侧电极显示约-2V的暗电势对比度。图2c是更详细的分析电势图像的线轮廓。在这里，我们发现测得的电势与外加电压是一致的。因此，我们检测到两个相邻电极之间存在2V压差，以及从电极到基板的急剧过渡。因此，我们证明了边带KPFM能够以很高的电势灵敏度和空间分辨率捕获施加在样品上的全电压。图2: a）电压分别为0和-2V的金电极阵列。b） 边带KPFM电势和形貌的三维叠加显示了两个电极的两种不同电势随外加电压的变化。c） 边带KPFM电势沿红线分布在两个电极上，表明测得的电位与外加电压一致，空间分辨率高。F14H20分子聚集体的KPFM研究  为了比较边带KPFM和更常用的非共振KPFM，我们绘制了半氟化烷烃（F14H20）自组装聚集体的表面电势分布图。在这里，分子的电偶极子在聚集体和亚硝酸盐之间引入了一个显著的电位偏移。图3：使用非共振和边带KPFM对相同的F14H20成像。横截面（红色）可以体现边带KPFM的横向和电势分辨率明显提高。  非共振和边带KPFM测量结果表明，边带KPFM的空间分辨率和电势分辨率都有所提高。对于边带KPFM，我们观察到基板和F14H20之间的潜在对比度为700-750mv，以及确定的横向分辨率，甚至可以成像聚集体中的小间隙。另一方面，非共振KPFM显示大约300mv的电势差，表明局部电位灵敏度较低。此外，边带KPFM捕获的清晰边缘在非共振KPFM中模糊，突出了边带KPFM优越的空间分辨率。  F14H20分子聚集体的柔软性对扫描探针技术的表征提出了新的挑战。然而，边带和非共振KPFM可以与Park Systems的非接触模式相结合，从而允许对这些软分子结构进行稳定的形貌成像。总结  边带KPFM，可扩展在Park NX研究型设备中，对测量如F14H20类似的软样品以及半导体和金属材料提供准确的表面电势研究。对静电力梯度的依赖性显著提高了横向分辨率和电势灵敏度，使边带KPFM成为纳米尺度表面电势定量表征的理想技术。Source：1. Silva, G. M. C., Morgado, P., Lourenço, P., Goldmann, M. & Filipe, E. J. M. Spontaneous self-assembly and structure of perfluoroalkylalkane surfactant hemimicelles by molecular dynamics simulations. Proc. Natl. Acad. Sci. 116, 14868 LP – 14873 (2019).2. Abed, A. El, Fauré, M.-C., Pouzet, E. & Abillon, O. Experimental evidence for an original two-dimensional phase structure: An antiparallel semifluorinated monolayer at the air-water interface. Phys. Rev. E 65, 51603 (2002).3. Zerweck, U., Loppacher, C., Otto, T., Grafström, S. & Eng, L. M. Accuracy and resolution limits of Kelvin probe force microscopy. Phys. Rev. B 71, 125424 (2005).

Park Systems中国分公司（以下称为Park原子力显微镜）在中国于2018年开设了Park AFM奖学金项目。Park AFM奖学金面向中国各大高校研究室的科研人员，提供3000元人民币的奖学金，旨在鼓励年轻科学家们通过分享讨论研究成果进一步推进学者们在纳米科学领域的成果进度。所有纳米科学领域使用Park原子力显微镜产品进行单独研究或共同研究者都可申请。奖学金获得者由Park Systems美国技术应用部门的专业人员评估决定。2021年度的"Park AFM奖学金"项目吸引了来自中国各大顶尖高校及研究机构的多位科研人员们参与申请。经过激烈角逐及Park美国应用部门的专业人员评估，来自清华大学未来实验室的副研究员陈迪博士后和来自华南理工大学化学与化工学院的王静禹博士后被评为"2021年Park AFM奖学金"的获奖者。2021年奖学金获得者 - 陈迪博士2020年1月还在斯坦福大学读博士后的陈迪博士以第一作者的身份在Nature Catalysis上发表了以"Constructing a pathway for mixed ion and electron transfer reactions for O2 incorporation in Pr0.1Ce0.9O2−x"为标题的论文 （以O2插入Pr0.1Ce0.9O2−x为案例构建离子和电子混合反应的反应路径)，该论文指出在界面电荷转移反应中，反应路径的复杂性随转移的电荷数而增加，并且在反应同时涉及电子（电荷）和离子（物质）时变得更加复杂。这些被称作的混合离子和电子转移（MIET）反应在嵌入/插入电化学至关重要，例如氧还原/演化的电催化剂和锂离子电池电极。了解MIET反应途径，特别是确定反应决速步(RDS)，对于在分子、电子和点缺陷层面上的界面工程至关重要。在这项工作中，我们开发了一个通用的实验和分析框架，用于解析在Pr0.1Ce0.9O2−x中插入O2（气）的反应途径。通过在控制固体中的氧活度和氧气分压的同时测量电流密度-过电势曲线，以及通过原位近常压X射线光电子能谱对化学驱动力和静电驱动力进行定量分析，我们对100多种反应途径进行了筛选，最终确定4种为可能的反应途径，并指出这4种反应途径的限速步均为电中性氧分子的解离过程。陈迪博士在本研究中使用了Park Systems XE-100对氧化物薄膜样品的表面粗糙度和晶粒尺寸进行了表征。可在Nature期刊查看原文。作为2021年Park AFM奖学金的第一位获奖者，NanoScientific Magazine对陈迪博士进行了相关研究的英文采访，采访报道会更新在2021年秋季刊杂志上，敬请关注！Park AFM Scholarship Awards – Dr. Di ChenIntroduction:Dr. Di Chen is an associate research fellow of the Future Laboratory, Tsinghua University. He got his B.S. from Tsinghua University and Ph.D from MIT, both in Materials Science and Engineering. He completed his postdoc training at Stanford University. His research group works on the electrochemical reactions at the interfaces.1.Please summarize the research you do and explain why it is significant?   We focused on understanding the high temperature reactions at the solid-gas interface. We used Pr-doped CeO2 thin film electrode as an example. By conducting in operando APXPS/APXAS characterizations, we clearly confirmed that there is no surface potential at the solid-gas interface. Combining current-voltage measurements under different applied bias with theoretical model simulations (defect chemistry and microkinetic models), we established a versatile method to determine the rate-determining step of oxygen incorporation reaction. We believe this method could be further extended to many other systems such as proton exchange membrane fuel cells and lithium batteries.2. How might your research be used?     This research built a method to understand the rate-determining step of the oxygen incorporation reaction at the cathode of solid oxide fuel cells (SOFCs), which was considered as a main limiting parameter for the application of SOFCs at larger scale. We think this research would be useful for people to further design and improve the cathode materials in SOFCs and help to develop more renewable energy systems with high efficiency.3. What features of Park AFM are the most beneficial and why?  To understand the reactions on the surface of the thin film electrode, it is quite important for us to characterize the surface structure, which would influence the physical and chemical properties of the materials. Atomic force microscopy is a powerful tool characterize the surface structure. The AFM from Park satisfies our research needs very well. Park AFM has a function to fast load and unload the tip, which saved our time and reduce the loss of tips.2021年奖学金获得者—王静禹博士2020年3月王静禹博士在ChemSusChem期刊上发表了"Atomic Force Microscopy and Molecular Dynamics Simulations for Study of Lignin Solution Self-Assembly Mechanisms in Organic–Aqueous Solvent Mixtures"（中文题目："原子力显微镜结合分子动力学模拟研究木质素在有机-水混合溶剂中自组装机理")的论文，该项工作称：近年来，木质素基纳米材料作为一种具有优异行的木质素产品受到越来越多的关注。将木质素分子制备成具有均一纳米结构的木质素纳米材料，可以有效地提升木质素的分散性、抗氧化性、抗紫外老化性等性能。其中，溶液自组装法具有操作简单、适用范围广、过程可调控性强等特点，是制备木质素基纳米材料最重要的方法之一。在木质素的溶液自组装过程中，木质素分子在良溶剂中的解聚和劣溶剂中的聚集是两个关键步骤。对木质素在良溶剂和劣溶剂中分子间作用力变化进行定量研究，有助于从分子层面理解木质素的聚集行为，实现木质素自组装的精确调控，从而指导制备具有特定结构、尺寸和性能的木质素基纳米材料。因此，我们利用原子力显微镜（Park Systems, XE-100）对木质素在有机溶剂-水体系下，自组装过程中的分子间作用力进行了定量测试。并进一步结合分子动力学模拟揭示了木质素自组装过程中的内在驱动机制。 以丙酮-水体系为例，酶解木质素（EHL）在水和丙酮中发生明显聚集（图1 a和1 c），而在丙酮-水混合溶剂中（水体积分数30%），EHL发生解聚（图1 b）。证明水和丙酮均为EHL的劣溶剂，而丙酮-水混合溶剂为EHL的良溶剂。分子间作用力测试显示，EHL在水中的作用力为-1.21±0.18 mN/m，在丙酮中作用力为-0.75±0.35 mN/m（负值表示吸引力）。而在丙酮-水混合溶剂中，EHL分子间作用力仅为-0.15±0.08 mN/m，相比于在水中和丙酮中分别减少了88%和80%。实验结果证明，木质素的溶剂环境由良溶剂逐步转变为劣溶剂过程中，木质素分子的分子间作用力逐渐变大，导致木质素分子慢慢聚集，形成一定的纳米结构，直到溶液自组装完成。如图1（d）、1（e）和1（f）所示，分子动力学模拟结果与上述实验结果一致。水分子和丙酮分子对木质素模型物亲水官能团和疏水官能团的径向分布函数（RDF）计算结果表明，丙酮分子更密集地分布在木质素疏水官能团（碳链和苯环）周围，使得木质素分子的疏水部分溶剂化（图1 g），而水分子更密集地分布在木质素亲水官能团（酚羟基和醇羟基）周围，使得木质素分子的亲水部分溶剂化（图1h）。上述实验和模拟结果证明，木质素在有机溶剂-水混合溶剂中，亲水官能团与疏水官能团均能很好地溶剂化，分子间作用力小。随着水或有机溶剂的增加，溶剂体系从良溶剂转变为劣溶剂，木质素分子间相互作用力增大，导致亲水或疏水部分开始聚集并诱导自组装过程。图1 EHL在（a）水、（b）丙酮-水（水体积分数30%）和（c）丙酮中的溶解情况和分子间作用力；木质素模型物在（d）水、（e）丙酮-水（水体积分数30%）和（f）丙酮中的分子动力学模拟结果；混合溶剂中，水分子和丙酮分子对木质素（g）疏水官能团和（h）亲水官能团的RDF图5 EHL在丙酮-水混合溶剂体系中的自组装：（a）EHL溶液的光散射现象（丁达尔效应）；（b）EHL纳米胶体球的原子力显微镜形貌图，比例尺为1 μm；（c）EHL纳米胶体球的扫描电镜图，比例尺为300 nmPark AFM Scholarship Awards – Dr. Jingyu Wang来自NanoScientific Magazine的采访内容如下： 1.Please summarize the research you do and explain why it is significant?   Natural polymers possess multiple advantages including eco-friendly, low cost, biocompatible, and biodegradable properties. Such advantages make natural polymers-based nanomaterials exhibit great potential in energy, biomedicine, and electronics fields. In order to deliver these great properties from molecular scale to mesoscopic and macroscopic scale, basic understanding of natural polymers is indispensable. One of my major research focuses on exploring the intermolecular interaction and solution behavior of natural polymers. Another major research of mine focuses on how to precisely control the supramolecular structure of natural polymers. These studies would provide fundamental understanding for the interaction mechanism of natural polymers in solution and significant guidance for the fabrication of natural polymers-based nanomaterials. 2.  How might your research be used?   My researches provide the quantitatively interaction results, such as intermolecular force and solution behavior, which reveal the interaction mechanism of natural polymers. From the basic science perspective, these results provide basic thermodynamics and kinetics understanding of natural polymer. From the application perspective, these studies provide significant guidance for the fabrication of natural polymers-based nanomaterials. For example, I explore the interaction between lignin molecules in solution. By revealing the change rule of intermolecular force between lignin, I reveal the self-assembly mechanism of lignin in organic solvent-water mixture and fabricate the uniform lignin nanoparticle with tunable size and great surface chemical properties. 3. What features of Park AFM are the most beneficial and why?   Park Systems is the top AFM manufacturer in worldwide. Their AFM possesses various modules, which could realize multiple functions. In terms of my researches, the force measurement module is most helpful. This module enables researchers to obtain quantitative force information of physical, chemical, and biological interactions. By different modification to AFM probe and substrate, I can obtain the force-distance (F-D) curve between natural polymers in different media. Based on the F-D curves, many essential results could be investigated, such as intermolecular force, viscoelasticity and energy consumption. Park中国还特别定制纯银奖章，所有在论文里使用Park机台并在论文里面提到Park机台的老师或者学生都可以申请纯银奖章，并百分百获奖！想要了解更多关于Park原子力显微镜的相关内容，可以关注微信公众号：Park原子力显微镜。

仪器信息网讯 2021年6月25日，Park帕克原子力显微镜公司(以下简称为“Park”)宣布推出一款重量级的全新系列原子力显微镜——Park FX40！该原子力显微镜集全自动技术、安全性能、智能学习等人工智能软件一体化，并描述之为“世界首台能够自动化所有前期设置和扫描过程的智能型原子力显微镜（AFM）”，Park FX40或将为研究界带来全新体验。全新型原子力显微镜Park FX40“与Park推出的前几代AFM系列不同，Park FX40自行负责了扫描前和扫描期间的所有设置，包括自动换针、探针识别、激光校准、样品定位以及近针和成像优化等操作。”Park全球产品研发部门副总裁Ryan Yoo评论道，“Park FX40兼有最新的人工智能技术和Park领先于半导体行业且价值百万美金的自动化技术，所以可以轻松自主执行上述任务。”Park FX40中文版预告视频于近日全球首播：新的 Park FX40 原子力显微镜不仅是几十个新功能的组合和原件的再升级，它还在原有的设计基础上，进行了全面而彻底的改革，使得AFM 具备高级的自动化能力。福音来了！即便是未经专业培训的研究型科学家们也能通过该显微镜轻松快捷地完成扫图过程，而专业的研究人员更可以将选择和正确装载探针的时间节省下来，以专注于他们更擅长的领域。除此之外，Park FX40还彻底升级了AFM的许多关键方面，其中包括采用尖端的机电技术极大降噪，减少束斑大小，调整光学视野，以及多功能嵌入样品台等。“作为研发的新品，Park FX40的强大功能来源于其他AFM迄今为止从未使用过的全新技术。”Yoo补充道。“我们很高兴能成为北美第一个体验Park FX40原子力显微镜的研究所。”哥伦比亚大学机械工程系的James Home教授发言道，“这款FX40增加了许多新功能并且升级了很多特性。作为Park的长期用户，我们对此感到非常兴奋和激动。这款FX40在人工智能和自动化技术上都实现了崭新的突破。我相信它可以极大地提高我们实验室的研究水平，并且推动整个纳米计量领域的创新。”Park FX 尖端的智能系统可以让用户在初始操作时同时放置多个样品（相同或不同类型），并将根据用户的需求进行自动成像。除此之外，该显微镜还能轻松及时地获取可发布的数据，并缩短研究周期来获得科学和工程上的最终成功。这些都有助用户实现更快更准的研究。 同时，Park FX40 独特的环境传感、自我诊断系统和避免头部碰撞的智能系统确保自身能够以更佳性能持续运行。据悉，在与全球原子力显微镜应用科学家们的密切合作下，Park产品市场部过去一整年都在不懈努力，潜心研发Park FX。“我们的科学家认识到AFM可以帮助研究人员获得前所未有的科学数据，并对纳米科学创新产生不可估量的影响。” Park公司的创立者，全球CEO朴尚一博士（Dr. Sang-il Park）评论道，“一直以来，我们都秉承着一颗赤诚之心来研发超级智能自动化的 Park FX 。因为我们的终极目标是为研究人员的工作保驾护航，帮助他们发现并打开科学更深处奥秘的大门！”在半导体市场，Park一直以其先进的自动化AFM 系统而闻名。它率先将AFM 技术作为纳米级计量的主要工具，使其成为行业的主流。而Park最新推出的Park FX也将为AFM创新领域开启新的篇章。关于Park帕克原子力显微镜公司Park公司成立于1988年，是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。Park公司成立30多年以来，始终致力于纳米领域的形貌、力学测量和半导体先进制程工艺的计量的新技术新产品的开发。Park独创的技术包括将XY和Z扫描器分离，实现了探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，能够快速成像的同时还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本等。Park公司成立至今，致力于开发新产品和新技术，旨在为客户解决各类技术难题，以提供最完善的解决方案。其原子力显微镜以高端的产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。为给中国客户提供更加高效便捷的售后服务， Park公司在中国区建立了售后服务中心并配有备件仓库。

Vladimir Korolkov, Ilka M. Hermes Park Systems UK Ltd, MediCity, Nottingham, UK.Park Systems Europe GmbH, Mannheim, Germany 自2004年石墨烯被发现具有开创性的特性后，二维材料在纳米电子学、柔性光电子学和电化学储能等领域都拓展了它的应用前景，并得到了广泛的研究。为了获得更广泛的材料特性，并且应用到相应的各个应用领域，研究人员在一个称为Twistronics的新研究领域中研究了不同二维材料相互叠置的范德华异质结构。他们发现，由于材料的不同周期性和两层之间的轻微扭曲角，这种超晶格出现，其特征是比原始单层具有更大的周期性。这些超晶格是莫列波纹。基本上，莫列波纹是一种干涉波纹，通过叠加类似但略有偏移的周期结构而获得（图1）。对于二维材料，这种波纹既可以发生在微压范德华异质结构中，也可以发生在通过等离子体增强化学气相沉积（CVD）或分子束外延（MBE）生长的层中。Figure 1: 叠加并使两个周期结构存在2.5°扭转角的莫列波纹 将莫列波纹的周期性与超导性、铁磁性或导电拓扑通道等材料特性联系起来并加以调整，莫列波纹的精确成像对于范德华异质结构的研究和未来工业应用至关重要。原子力显微镜（AFM）是一种真实空间、高分辨率的成像技术，它不仅可以通过样品成像捕获样品表面的超晶格，而且可以实现莫列波纹的可视化机电响应。因为莫列波纹上典型的波纹变化高度约为10–50 pm，其可视化要求AFM在所有主要成像模式下具有低噪声性能。特别是对莫列波纹进行接触模式成像是任何原子力显微镜的基准噪声测试。在这里，我们将展示Park Systems公司的大样品NX20 原子力显微镜如何在石墨烯/ hBN （六角氮化硼）范德华异质结构上解析从11到15nm具有不同周期的莫列波纹。在这个例子中，我们在 hBN 单晶片的顶部使用了一个微冲压石墨烯层。这种样品通常在样品表面上显示皱纹和气泡，以及显示莫列波纹的需要平坦区域 （图2和图3）。图2：堆叠在hBN薄片顶部的石墨烯薄片的光学显微镜图像，具有石墨烯形貌的高度图像。样品提供： Dr. Ziwei Wang, The University of Manchester 这些莫列波纹已成功地在接触和轻敲模式下成像。轻敲模式图像清晰地显示了微压石墨烯的三个主要特征：皱纹、气泡和不同的莫列波纹（I-III）。这些变化的莫列波纹来源于石墨烯和hBN的原子晶格之间的微小角度不匹配，这种不匹配发生在微冲压过程中。图3：石墨烯/hBN的两个不同区域显示莫列波纹。在接触模式（a）和轻敲模式（b）下成像。莫列波纹的周期分别为11.2nm（a）和14.5nm（Ib），12.4nm（IIb）和10.9nm（IIb）。总结通过在接触和轻敲模式下，通过对石墨烯/hBN异质结构上的莫列波纹的分析，我们证明了大样品NX20原子力显微镜具有高分辨率、低噪声成像的能力，这是对堆叠二维材料超晶格精确表征所需的能力。因此，我们的结果突出了Park Systems原子力显微镜的潜力，以促进 Twistronics在学术和工业研究领域的发展。Source1.         Novoselov, K. S. et al. Electric Field Effect in Atomically Thin Carbon Films. Science (80-. ). 306, 666 LP – 669 (2004).2.         Kim, S. J., Choi, K., Lee, B., Kim, Y. & Hong, B. H. Materials for Flexible, Stretchable Electronics: Graphene and 2D Materials. Annu. Rev. Mater. Res. 45, 63–84 (2015).3.         Carr, S. et al. Twistronics: Manipulating the electronic properties of two-dimensional layered structures through their twist angle. Phys. Rev. B 95, 75420 (2017).4.         He, F. et al. Moiré Patterns in 2D Materials: A Review. ACS Nano (2021). doi:10.1021/acsnano.0c104355.         McGilly, L. J. et al. Visualization of moiré superlattices. Nat. Nanotechnol. 15, 580–584 (2020).了解更多最新产品信息，请关注Park微信公众号：Park原子力显微镜             请拨打400电话：400-878-6829

Park纳米科学原子力显微镜系列讲座培训一原子力显微镜在纳米研究中的应用：AFM的成像原理2021年5月25日(周二)北京时间下午3:30-4:30原子力显微镜(AFM)作为扫描探针显微镜家族的一员，具有纳米级的分辨能力，其操作容易简便，是目前研究纳米科技和材料分析的最重要的工具之一。此外原子力显微镜还具有摩擦性能，纳米机械性能和电学性能等高级性能。  在本研究中，我们将讨论接触模式、非接触模式和轻敲模式等原子力显微镜使用中的不同操作模式；内容将概括到从原子力显微镜测量中常用的原子相互作用的基本理论，到原子力显微镜的主要硬件组成。本讲座还将讨论各模式的关键点(如设定值、反馈)。  在接触模式下，系统会给探针恒定的力作为设定的基准点也就是设定点来物理接触样品。扫描期间为了维持这个设定点而进行反馈。在三种模式中，原理相对简单。然而，由于接触模式很容易对针尖和样品造成损伤。相比之下，非接触模式允许在不接触表面的情况下进行形貌测量。因此，可以很好地保护针尖和样品。轻敲模式与非接触模式原理相似，在扫描过程中，探针轻触样品表面，以获得测量材料属性分布的额外信息(例如模量分布)。  本次讲座主要针对AFM原理的基础知识，帮助大家了解探针和样品之间的相互作用。由三种模式测出的图像对比也将在讲座中呈现。报告人 :  Park原子力显微镜应用科学家Chris Jung   Chris Jung, is an Application Scientist for Park Systems Korea - Research Application Technology Center (RATC) department. He received his Master’s degree in Physics from the Kyung Hee University, and his Bachelor’s degree in Physics from Dankook University in South Korea. His major project includes Evaluation of Kelvin Probe Force Microscopy (KPFM) at the perspective of resolution.Park原子力显微镜系列讲座列表（5月-9月） 想了解更多详情，请关注微信公众号：Park原子力显微镜                                          400电话：400-878-6829                                         Park官网：parksystems.cn

Park SmartLitho是一个基于AFM的平台，可实现对材料、电气和电子设备、纳米技术和其他研究领域进行纳米光刻和纳米操作。

Caption: Single layer of molecular network showing both, Moire pattern and molecular lattice structure captured by Park #NX20 AFM.

图片描述：分子间作用力测试过程示意图与典型力-距曲线和作用力统计结果 高分子材料在人类社会中起着不可或缺的作用。高分子的分子间相互作用特性决定了其相关材料在不同领域中的物理化学性质和应用性能。因此，对高分子分子间作用力的量化研究对指导后续功能材料的设计与制备、开拓高分子材料新的应用领域具有重要指导意义。本次网络研讨会将以天然高分子木质素和纤维素为例，首先详细介绍原子力显微镜在量化研究高分子分子间作用力时的基础原理和测试方法，然后展示如何对分子间作用力的测试结果进行详细分析（包括对多种耦合作用力的解构分析等），最后对原子力显微镜分子间作用力测试技术进行简单的展望与总结。报告人：王静禹华南理工大学  化学与化工学院王静禹，华南理工大学化学与化工学院在站博士后。2014年获得长沙理工大学学士学位，博士期间在华南理工大学邱学青教授的生物质资源利用团队进行学习与研究，于2020年获得化学工程博士学位，并在毕业后继续以博士后身份在该课题组开展研究工作。2018年至2020年，以联合培养博士身份赴美国威斯康辛大学-麦迪逊校区进行为期两年的交流学习。王静禹博士有着7年的原子力显微镜应用经验（包括原子力显微镜形貌成像、力学、电学等模块），他目前的研究工作主要包括天然高分子分子间相互作用和溶液行为的基础研究及其超分子结构的精确调控。网络讲座时间：2021年5月27日  星期四  上午10点-上午11点申请方法：关注公众号：Park原子力显微镜  扫描网络讲座里的二维码报名 即可。

不忘初心，砥砺前行，以下按照时间轴，一起回顾Park原子力显微镜公司成长史，以及伴随世界原子力显微镜技术发展的故事。01Park公司简介  帕克原子力显微镜（Park Systems,以下称Park）是一家专门从事纳米设备测量的公司。Park致力于新技术开发，始终是纳米显微镜和计量学领域的创新者。Park在AFM技术发展中发挥着举足轻重的作用，制造和销售具有全自动化软件且使用方便的高精度原子力显微镜（AFM）。截至2021年4月20日，Park股票估值超过了一兆（万亿）韩元。朴尚一（Sangil Park)博士和他的导师Calvin Quate教授02为梦想而坚守Park原子力显微镜创始人朴尚一博士 Dr. Sangil Park1985年朴尚一博士所在的课题组（师从Calvin Quate教授）研发出世界首台原子力显微镜1988年朴尚一博士在美国硅谷创立了Park Scientific Instruments公司(PSI)1997年朴尚一博士将年销量为1200万美金的PSI以1700万美金的价格转卖给了美国测量设备公司Thermo Micro.1997年朴尚一博士回到韩国，创立PSIA公司，即为后来的Park原子力显微镜公司。Park原子力显微镜1997年4月PSIA(株)成立（资金5亿韩元）1998年7月中小企业厅风险投资企业确认1998年10月被韩国产业资源部评定为工业为主技术开发公司2000年04月韩国科学技术部颁发国家研究奖（NRL）2002年7月获得NT Mark(New Technology)新技术认证2002年消除串扰技术的发展（XE），从而提高了原子力显微镜的反馈和成像2003年4月成立美国分公司（PSIA Inc.）2003年5月被韩国科学技术部选为核心技术开发产业（Nano）2003年10月获得CE标志认证（XE-100, XE-150产品型号）2004年2月获得“工业技术奖”2004年真正非接触模式（True Non-contact Mode）实现无损样品扫描2005年1月被评为2004年韩国十大新技术企业（原子力显微镜技术）2005年7月获得ISO 14001环境管理体系认证2006年1月获得韩国高新技术认证（NEP， New Excellence Product）2007年1月成立日本分公司2007年4月法人名更改为Park Systems Corp.2007年12月被知识经济部评为"世界一流商品生产企业"2008年3月“韩美未来产品经营大奖”2008年7月获得 ISO 9001质量管理体系认证2008年8月XE-3DM：用于高分辨率3D测量的全新3D原子力显微镜2008年11月XE-Wafer: 用于在线晶圆检测和计量的自动化工业AFM2009年5月通过了Hynix海力士半导体的"Preliminary Performance Test"2009年6月荣获彼得.德鲁克创新奖2010年1月获得国家核心技术奖（工业型原子力显微镜技术）2010-11号2010年12月韩国十大新技术奖（XE-3DM技术）-知识经济部2010年12月韩国技术大赏银奖（XE-3DM技术）（经济部长奖）2011年Park NX10新品出市：全新产品系列的最优原子力显微镜2012年8月NanoKorea 2012知识经济部长奖2012年8月新加坡分公司成立2012年10月Park NX-Wafer: 全自动晶圆检测原子力显微镜2012年Park NX20新产品：用于故障分析和大型样品扫描的领先纳米计量工具2013年6月被选为 INNO-BIZ(技术创新中小企业) (13.06.20~16.06.19)2013年Park NX-HDM: 实现硬盘介质和半导体衬底的全自动化缺陷检查和亚埃米级表面粗糙度测量2014年Park SmartScan: 通过Park划时代创新自动成像技术，实现SmartScan软件的三次点击成像2015年2月与IMEC达成JPD协议以开发用于半导体制造业的纳米级原子力显微镜计量学2015年5月被选为国家产业核心技术事业项目 (2015.06~2018.05)-韩国产业通商资源部2015年8月首次在KOSDAQ（科斯达克）评估信息中获得AA等级技术评估，技术保证金2015年9月被指定为国家核心技术（原子力显微镜制造技术）- 韩国产业通商资源部2015年12月在科斯达克（KOSDAQ）上市，首次公开募股2015年6月NX-3DM:失效分析，质量监控和工艺改进的最佳原子力显微镜2015年Park NX-Hivac: 用于故障分析和气压敏感材料研究的高真空原子力显微镜2016年6月荣获第8届韩国KOSDAQ奖"最佳下一代企业奖"2016年6月被选为INNO-BIZ(技术创新中小企业) (A等级，16.06.20~19.06.19)2016年7月2016弗若斯特沙利文（Frost＆Sullivan）“全球技术支持领先奖”2016年12月产业通商资源部颁发2016年"第15届产业技术奖"2016年Park NX20 300mm: 可用于300 mm晶片圆测量和分析的自动化纳米测量工具2017年2月成立中国台湾分公司2017年3月成立欧洲分公司2017年Park NX12: 多功能原子力显微镜平台，满足纳米级测量的需求2018年5月2018年科斯达克（KOSDAQ）后起之秀企业2018年6月第十届韩国科斯达克（KOSDAQ）大赏最优秀技术企业奖2018年9月中国北京分公司成立2018年11月科学技术信息通信部，产业通商资源部颁发2018年十大纳米技术奖2018年12月入选2018年最有前途半导体技术解决方案企业2019年7月再次被选为2019年科斯达克（KOSDAQ）后起之秀企业2019年7月获NanoKorea 2019年韩国国务总理表彰奖2020年2月Park NX-TSH: 专为超大纳米平板显示器测量设计的自动化原子力显微镜2020年3月IMEC与Park公司签署第二期JDP协议合作开发用于半导体制造的纳米计量解决方案2020年5月Park原子力显微镜完成其对Molecular Vista的股权投资2021年1月2020年福布斯亚洲10亿美元200强企业榜单- Park原子力显微镜公司上榜2021年2月Park SmartLitho™-最简易的纳米光刻和纳米操作的智能化软件2021年4月在科斯达克（KOSDAQ）突破一兆（万亿）韩元的关口03Park研发之路"前世今生"近40年间，朴尚一博士致力于原子力的发展。1985年，朴尚一博士在斯坦福大学Calvin Quate教授课题组攻读博士学位期间，亲身参与并见证了首台AFM的诞生。该成果发表在1986年3月的“物理评论快报”上，该成果的共同作者单位为Gerd Binnig(IBM公司阿尔玛登研究中心)、Christoph Gerber(IBM公司苏黎世研究实验室)、Calvin Quate教授(斯坦福大学)。1988年，朴尚一博士在美国硅谷创立了Park Scientific Instruments公司(PSI)，PSI作为全球最初的商业化AFM公司在硅谷获得了巨大成功，公司仅用三年时间，销售业绩就达到了595万美金，相比于创业之初的1988年，业绩实现了超过10倍的暴风式增长。1997年， PSI以1700万美金的收购价格被美国测量设备公司Thermo Micro全资收购。1997年，朴尚一博士回到韩国并于当年成立了PSIA公司。伴随着半导体产业的崛起，PSIA公司着力于开发适用于半导体产业的计量型原子力显微镜。1998年，PSIA公司推出了首款可以对8英寸Wafer进行缺陷检测的原子力显微镜"SM5-200"。2000年，PSIA公司根据LCD产业的需求，推出了世界上首台不用破片的大尺寸LCD产业用原子力显微镜--600X720 mm液晶显示器(LCD)。该产品首次实现了原子力显微镜检测的不破片测量，并在同年得到了三星电子的评测认可。但在2001年，由于受制于美国的贸易政策，PSIA公司不能从美国的公司采购任何主要的美国生产的产品备件，导致公司生产一度停滞。“求人不如求己！”面对美国一些贸易壁垒的经营限制条例，朴尚一博士决定借此机会让PSIA成为完全的技术独立者。在随后的漫长时间里，他致力于研发完全本土化的产品。历尽不为人知的众多曲折后，PSIA最终推出了世界上首台扫描器分离的原子力显微镜Park XE-100，并且将非接触模式的算法进行了优化升级，一举解决了传统非接触模式不能进行高分辨扫描的弊端。PSIA推出的非接触模式成像，在获得高分辨率的照片的同时，且使探针寿命得到了显著的提升，有效降低了AFM使用成本。2007年4月，PSIA正式改名为Park Systems (中文名：帕克原子力显微镜，以下称为Park)。随后Park还开发了3D原子力显微镜测量技术，升级款的原子力显微镜可以测量类似TSV样品的侧壁形貌。此项技术问世后，欧洲领先的微电子技术独立研发中心IMEC向Park抛来合作的橄榄枝，并在2015年和Park签署合作意向书，以便在半导体工艺先进制程研发领域建立长期合作伙伴关系。小结Park公司成立至今，从包括朴尚一博士在内的首次创业的几个合伙人，发展到现在拥有400人的全球公司，实现了质的蜕变。截至目前，Park公司市值已超过10亿美金，在全球建立了9个分公司和代表处，并于2017年在中国北京成立了韩国帕克服份有限公司北京代表处……毋庸置疑，随着市场地不断开拓，Park公司凭借着与时俱进的研发技术，已经成为业界领先的优秀企业。接下来Park即将推出一系列新品原子力显微镜，并将于2024年扩迁公司总部，以更好地推进公司的运营和发展。Park将为科学和工业实验室引入一种具有人工智能和机器人智能化的全新全自动化原子力显微镜 ，值得期待！

Park韩国总公司应用技术中心常务董事趙相俊(Dr. Sangjoon Cho)博士在韩国2021年科学与信息交流日颁奖典礼上获得了“国家科学技术进步奖”。 国家科学技术进步奖主要授予在技术研究、技术开发、技术创新、推广应用先进科学技术成果、促进高新技术产业化，以及完成重大科学技术工程、计划等过程中做出创造性贡献的个人和组织。 趙相俊博士成功领导开发了许多韩国国家项目，并为半导体工艺提供了新的解决方案，在停滞不前的韩国国内分析测量设备行业中取得了突破，为表彰他的贡献，被授予科学技术奖章。 纳米计量领域的行业专家趙相俊博士建立了国家技术发展路线图，为引领韩国纳米技术和工业化技术的发展做出了巨大贡献。 与我们一起工作了14年的趙相俊常务董事说：“我很开心能够通过开展有意义的国家研究项目为公司和相关行业发展做出贡献，真心感谢所有同事，感谢与这一群优秀并且热爱纳米技术研究的同事们一起成长一起拼搏一起努力，谢谢你们！”

    世界领先的原子力显微镜制造商Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）于2021年4月20日宣布，公司股票估值超过1万亿韩元(近10亿美元)。 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）于2015年12月17日在KOSDAQ首次公开发行了100万股股票，KOSDAQ相当于韩国的纳斯达克(NASDAQ)。自首次公开募股以来， Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）已发展成为全球原子力显微镜领域的领导者，在原子力显微镜半导体先进自动化遥遥领先，并将原子力显微镜（AFM）技术作为纳米尺度测量的首要工具带入主流。Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）创始人兼CEO Sang-il Park博士在接受采访时候表示，“Park持续收到来自世界顶尖半导体和数据储存供应商的采购订单“。Sang-il Park博士曾作为斯坦福大学课题组的小组成员参与开发了世界首台原子力显微镜，并于1988年研发了首个商业型原子力显微镜。“即使是受疫情影响的近两年Park依旧以超过20%的复合增长率快速成长，订单持续走高。”    KOSDAQ的估值接近10亿美元，吸引了外国投资者的注意，他们积极购买股票，使公司的持股比例从1月的11%增加到3月的18%。不仅如此， Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）还在最新公布的2020福布斯亚洲10亿美元以下200强企业上榜，更是获得科斯达克（KASDAQ）大奖，并在富时（FTSE）小型股指数上榜。     2020年， Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）与IMEC签署了第二期JDP协议合 作开发用于半导体制造的纳米计量解决方案。不仅如此， Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）还完成了对Molecular Vista的股权投资， Molecular Vista作为一家AFM的生产商，该公司主要聚焦于基于光诱导力显微镜的纳米红外技术（IR PiFM）进行AFM红外联用的定量可视化研究工作，从而实现分子水平上探测和解析物质的红外光谱特征。     Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）总部设在韩国首尔。自成立以来，以不可忽视的实力全球化扩张，如今 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）已成为用于工业、研究和学术纳米尺度研究的原子力显微镜(AFM)工具的首要供应商。在全球范围内应用广泛的技术研究所促进了许多领先的原子力显微镜技术的发展，包括 True Non-Contact （非接触）技术、SmartScan操作软件、可用于纳米力学分析和电气模式的PinPoint模式; 最近 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）还推出了用于纳米级光刻的智能Litho。     Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）是第一家具有里程碑意义的原子力显微镜制造公司。其基于挠性的扫描系统带来了新水平的准确性、分辨率和样品处理技术。2024年， Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）将扩大并搬迁公司总部，以推进公司的运营和技术发展。 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）将为科学和工业实验室引入一种具有人工智能和机器人智能化的全新全自动化原子力显微镜 ，敬请期待！ 关于 Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）帕克原子力显微镜是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。Park（帕克）公司成立30多年来，始终致力于纳米领域的形貌&力学测量和半导体先进制成工艺的计量的新技术新产品的开发。Park（帕克）独有的技术是将XY和Z扫描器分离，实现探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，快速成像还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本。Park（帕克）公司成立至今，致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。Park（帕克）公司的原子力显微镜以高尖端产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。为了给客户提供高效便捷的售后服务， Park（帕克）公司在中国区建立有售后服务中心并配有备件仓库。

仪器信息网讯 2021年4月20日，世界知名原子力显微镜制造商Park Systems（中文名称：帕克原子力显微镜）宣布，公司股票估值超过1万亿韩元(近10亿美元)。 Park Systems于2015年12月17日在KOSDAQ首次公开发行了100万股股票，KOSDAQ相当于韩国的纳斯达克(NASDAQ)。自首次公开募股以来， Park Systems已发展成为全球原子力显微镜领域的行业翘楚，尤其在原子力显微镜半导体先进自动化领域优势明显，并将原子力显微镜（AFM）技术作为纳米尺度测量的首要工具带入主流。Park Systems创始人兼CEO Sang-il Park博士在接受采访时候表示，“Park持续收到来自世界顶尖半导体和数据储存供应商的采购订单“。Sang-il Park博士曾作为斯坦福大学课题组的小组成员参与开发了世界首台原子力显微镜，并于1988年研发了首个商业型原子力显微镜。“即使是受疫情影响的近两年Park依旧以超过20%的复合增长率快速成长，订单持续走高。”帕克原子力显微镜创始人兼CEO Sang-il Park博士KOSDAQ的估值接近10亿美元，吸引了外国投资者的注意，他们积极购买股票，使公司的持股比例从1月的11%增加到3月的18%。不仅如此， Park Systems还在最新公布的2020福布斯亚洲10亿美元以下200强企业上榜，更是获得科斯达克（KOSDAQ）大奖，并在富时（FTSE）小型股指数上榜。2020年， Park Systems与IMEC签署了第二期JDP协议合作开发用于半导体制造的纳米计量解决方案。不仅如此， Park Systems还完成了对Molecular Vista的股权投资， Molecular Vista作为一家AFM的生产商，该公司主要聚焦于基于光诱导力显微镜的纳米红外技术（IR PiFM）进行AFM红外联用的定量可视化研究工作，从而实现分子水平上探测和解析物质的红外光谱特征。Park Systems总部设在韩国水源。自成立以来，凭借实力逐渐全球化扩张，如今 Park Systems已成为用于工业、研究和学术纳米尺度研究的原子力显微镜(AFM)工具的首要供应商。在全球范围内应用广泛的技术研究所促进了许多领先的原子力显微镜技术的发展，包括 True Non-Contact （非接触）技术、SmartScan操作软件、可用于纳米力学分析和电气模式的PinPoint模式; 最近 Park Systems还推出了用于纳米级光刻的智能Litho。Park Systems是一家具有里程碑意义的原子力显微镜制造公司。其基于挠性的扫描系统带来了新水平的准确性、分辨率和样品处理技术。据悉，2024年， Park Systems将扩大并搬迁公司总部，以推进公司的运营和技术发展。 Park Systems将为科学和工业实验室引入一种具有人工智能和机器人智能化的全新全自动化原子力显微镜 ，值得期待！

仪器信息网讯 近日，原子力显微镜制造商Park原子力显微镜公司（Park Systems Inc.）公布其2020年度财报（2020年1月1日-12月31日），Park原子力显微镜2020财年实现销售额712.2亿韩元（按当前汇率约4.16亿元人民币），同比上一年增长37%。（基于K-IFRS合并财务报表）按业务部门，2020年，研究型AFM业务销售额占比约27%，销售额同比上年增长25%。工业型AFM业务销售额占比约68%，销售额同比增长达50%。消耗品和服务等业务销售额约占4%。按地区，2020年韩国国内销售额占比约21.1%，同比增长达218%。其他国家地区，中国市场占比达35%，其中中国大陆和台湾地区业绩都表现不俗，销售额占比分别以18.4%和16.8%，且销售额同比增长分别为31.7%和45.8%。同时，各个国家销售额只有美国出现下滑，下降约18%。关于全球原子力显微镜市场展望据Microscopy Market的市场报告显示，全球原子力显微镜市场的年增长率(CAGR)为5.8%，从2019年的441Million美元到2024年的586Million美元。原子力显微镜市场（USD $ Million）Type2019202020222024CAGR(2019~2024)Industrial Grade2242402723046.2%Research Grade2172302562825.4%Total4414705285865.8%Source: Atomic force microscopy market(Global forecast to 2024)目前纳米技术备受瞩目，光学显微镜市场已经成熟，且分辨能力有限。与之相比，原子显微镜与纳米技术的发展有着更密切的关系，随之，原子力显微镜自身市场增长的同时，还将吸收一部分电子显微镜市场份额。预计相比光镜和电镜，原子力显微镜会显示出更快的增长速度。1）研究仪器市场(material science)原子显微镜在空气、真空和溶液环境中都可以使用，而电镜只能在真空中使用；电镜需要进行精细复杂的样品制备，而原子显微镜则无需复杂制备；原子显微镜可以提供高度，角度，粗糙度等定量的三维图像信息，而电镜一般只能提供2D图像，不能测量定量的立体信息；原子显微镜可以利用多种多样的选项来测定样本的机械、电、热的特性，但是电镜是不可以的。2）工业设备市场(semiconductor and electronics)随着设备尺寸的减小，电镜的分辨率，对比度和信噪比还不能很好的跟上其发展的步伐；越来越小，越来越复杂的晶片表面形状会受到电镜测量过程中产生的电子束的影响，受此污染或变形的问题已成为一个严重的问题；对于FinFET等3D设计，电镜无法进行准确的测量，新兴的原子力显微镜，例如3D原子力显微镜（NX-3DM），正在成为唯一的选择。3）生物研究设备市场目前，生物市场是全球显微镜市场中最大的市场，并且对传统光学显微镜难以测量的纳米级和分子级分辨率的需求正在增长；使用电镜无法在活细胞或溶液中进行测量，但是可以使用原子力显微镜（SICM或液体AFM）进行测量。

SEMICON China 2021T3展馆 3229展位Park邀您参馆！2021年3月17日，一年一度的半导体行业盛会SEMICON China 2021在上海新国际博览中心顺利进行了开幕仪式。全球首家推出商业原子力显微镜产品的上市公司韩国Park原子力显微镜携全面的半导体行业解决方案，以及最新的专为超大纳米平板显示器测量儿设计的自动化原子力显微镜Park NX-TSH新品精彩亮相。Park还在N2馆展览Park NX20 demo机器，现场来往的专业观众不少被这台具有超高分辨率超强性能优势的产品吸引驻足，与Park的专业技术工程师交流了解。展会精彩瞬间Park在展位现场还为大家准备了盲盒抽奖活动，大家可通过小程序抽奖，奖品请在T3展馆3229展位现场领取即可1百分百中奖Park原子力显微镜全体员工期待您的光临！T3 3229。。。END。。。01062544360Park北京分公司Park上海labPark广州lab

  福布斯日前公布亚洲收入十亿美元以下企业200强榜单，韩国Park原子力显微镜公司榜上有名。  福布斯亚洲收入10亿美元以下企业200强榜单收录了年收入10亿美元以下的上市公司，上榜企业是从亚太地区18,000家符合条件的企业中选出的，此标准确保了亚太地区企业的地域多样性。 入选公司净利润必须为正，且公开交易至少一年以上，营业额与净利持续增长。  根据福布斯亚洲的文告，榜上的公司都拥有出色的纪录，在销售、盈利增长、债务水平和企业监管方面的综合排名，都高于同行。  《福布斯》亚太区10亿美元以下最佳企业的名单也显示了它们在面对疫情时的实力，通过迅速适应当今的商业环境，在逆境中茁壮成长。  “在10亿美金的名单中做到最好并非易事。对这些中小企业来说，疫情是对它们在逆境中生存甚至发展的真正考验。”这些被选中的公司表现出了迅速适应新的具有挑战性的商业环境的韧性。Park公司2020年的收益持续增长，订单渠道健康。Park Systems（以下称为Park公司）首席执行官兼创始人Sang-il Park博士评论道:“Park公司很荣幸被《福布斯》亚洲评选为2020年10亿美金以下最佳企业。”“我们在全球范围内发展原子力显微镜业务的战略计划一直坚定不移，且股价和投资者信心持续上升，公司估值超过5亿美元。”   Park公司由Sang-il Park博士于1997年创立，是原子力显微镜(AFM)行业的全球市场领导者。Park公司拥有32项与AFM技术相关的专利, 是全球首家推出商业原子力显微镜产品的上市公司。Park公司始终致力于纳米领域的形貌&力学测量和半导体先进制成工艺的计量的新技术新产品的开发。Park独有的技术是将XY和Z扫描器分离，实现探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，快速成像还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本。Park公司成立至今，致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。Park公司的原子力显微镜以高尖端产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。  为了给客户提供高效便捷的售后服务， Park公司在中国区建立有售后服务中心并配有备件仓库。  此外Park还开启了Park AFM奖学金项目，最近还扩大了一个在线学习项目，提供公司网络研讨会、现场演示，并开展纳米科学研讨会，以促进应用和技术发展。可关注“Park原子力显微镜”公众号，查看公众号文章并阅读福布斯新闻原文。

论坛介绍第二届SPM纳米科学中国论坛 （NSSC 2020）将于12月10日线上举行。论坛将聚焦探讨扫描探针显微镜（SPM）技术与在先进电子设备（如忆阻器，场效应晶体管，传感器等）的电学等相关领域的研究及应用，具体包括导电原子力显微镜（CAFM）、开尔文探针力显微镜（KPFM）、热扫描探针显微镜（SThM）等。此外，论坛还将涵盖具有扩展功能的高级SPM技术的进展，例如手术刀AFM、多探头SPM、原子开关等。会议将邀请材料科学和电子工程领域的知名研究专家，在线分享他们在SPM相关技术方面的先进知识。NSSC是一年一度的公开的AFM用户研讨会，致力于共享和交流AFM技术与先进电子器件和材料的前沿研究。NSSC 2020所有演讲内容都将在网上进行实时直播，在直播室，主持人将与在线听众实时沟通、答疑和现场讨论。会议主席：Mario Lanza教授（阿卜杜拉国王科技大学）会议联合主席：惠飞博士（以色列理工学院）主办单位：King Abdullah University of Science and Technology; Technion-Israel Institute of Technology; NanoScience杂志; Park原子力显微镜协办单位：仪器信息网会议形式：免费参会，英语直播会议时间：12月10日15:00-22:00报名链接：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/NSSC2020/参会活动：直播期间将抽取神秘奖品，期待您的参加！论坛日程12月10日 第二届SPM纳米科学中国论坛 （NSSC 2020）时间项目嘉宾15:00--15:05欢迎致辞Mario LanzaKing Abdullah University of Science and Technology, Saudi Arabia, General Chair15:05--15:10欢迎致辞Keibock LeePark Systems, Korea, Vice President & Chief Editor of NanoScientific15:10--19:00Session I主持人：Fei Hui15:10--15:40特邀嘉宾视频专访:导电原子力显微镜发明人Sean Joseph O’SheaA*STAR, Singapore, Principle Scientist15:40--16:10特邀报告：使用扫描探针显微镜表征纳米电子材料和器件的最新趋势Günther BenstetterDeggendorf Institute of Technology, Germany, Professor16:10--16:40特邀报告：电子原子力显微镜纳米电子学研究Umberto CelanoIMEC, Belgium, Senior Scientist16:40--17:10特邀报告：具有自优化和精确扫描控制的非接触式原子力显微镜及定量纳米测量Sangjoon ChoPark Systems, Korea, Vice President17:10--17:40特邀报告：电子器件的纳米尺度热成像Miguel Munoz RojoUniversity of Twente, Netherlands, Tenure Track Assistant Professor17:40--19:00晚餐时间19:40--21:40Session II主持人：Mario Lanza19:00--19:30主题报告：导电原子力显微镜及纳米电子学二维材料和异质结构研究Filippo GiannazzoNational Research Council of Italy, Italy, Research Director19:30--20:00特邀报告：用于栅极介电可靠性分析的导电原子力显微镜Alok RanjanSingapore University of Technology and Design, Singapore, Postdoctoral Research Fellow20:00--20:30特邀报告：氟化钙:一种优秀的二维电子学高介电介质Chao WenSoochow University, China, (2020 Park AFM Scholarship Winner)20:30--21:00Park原子力显微镜现场演示：使用KPFM进行表面电势映射的比较研究Charles KimPark Systems, Korea, AFM Application Specialist21:00--21:30圆桌论坛嘉宾：Mario Lanza; Panelist: Umberto Celano, Filippo Giannazzo, Miguel Munoz Rojo, Sang-joon Cho21:30--21:40闭幕词主持人：Mario Lanza参会嘉宾（点击嘉宾头像，查看更多介绍）报名参会1、扫描下方二维码，进入官网报名参会。2、点击此处链接，进入官网报名参会。

SILICON SEMICONDUCTOR I 高真空对于电扫描探针显微镜的优势高真空对于电扫描探针显微镜的优势Advantages Of High Vacuum For Electrical Scanning Probe Microscopy  来自IMEC和比利时鲁汶大学物理与天文学系的Jonathan Ludwig，Marco Mascaro，Umberto Celano，Wilfried Vandervorst，Kristof Paredis学者们利用Park NX-Hivac原子力显微镜对MoS2在形态和电学方面进行了研究。2004年，石墨烯作为一类新材料原型的被发现，引起了人们对二维（2D）层状材料的极大兴趣。从那时起，人们合成并探索了各种各样的二维材料。    其中，过渡金属二氯代物 (TMDs) 因其固有的带隙、小的介电常数、高的迁移率和超薄的材质而引起了人们的广泛关注， 这使其有望成为将逻辑技术延伸到5 nm以上节点的候选材料。然而，在300 mm兼容的制造环境中集成此类材料仍然面临许多挑战，尤其是因为在薄片或单个晶粒中观察到的有用特性，高质量TMD层的可控生长、转移和加工仍然是一个关键障碍。  扫描探针显微镜作为一种固有的高分辨率二维技术，是研究TMDs形态和电学特性的强大工具。本技术说明以MoS2为例，利用Park NX-Hivac原子力显微镜系统的功能，探讨了高真空用于电学测量的优势。调查：材料和方法MoS2  用MOCVD在蓝宝石衬底上生长了一系列不同层厚的MoS2样品。所有的测量都是在生长的、未转移的MoS2 / 蓝宝石上进行的。相同材料制成的元件的室温迁移率高达μm~30 c㎡/Vs，较厚样品的平均迁移率更高。图1：（a-c）所研究样品的AFM形貌图。（d）用于测量蓝宝石上多层MoS2的C-AFM装置示意图。（e）显示悬臂在高摩擦区域扫描时如何扭曲的动画。（f）对应于（b）中黑线的形貌横截面，在MoS2岛边缘显示0.6 nm台阶，在蓝宝石台地上显示0.2 nm台阶。所有的图像都是用Gwydion绘制的。比例尺为500 nm。  所有被测样品的原子力显微镜（AFM）图像如图1所示。总共测量了三个样品，其层厚为1-2层，3-4层，还有一个具有金字塔结构，这里称为多层MoS2。1-2层样品由一个完全封闭的单层MoS2薄膜组成，在顶部形成额外的单层岛。这些单层岛构成了第二层生长的开始，在形貌图上可以识别为浅色区域。与此相似，3-4层样品由一个完全封闭的三层MoS2薄膜和附加的单层岛组成。图1（d）显示了3-4层样品的样品结构示例。在这里，每个绿色层代表一层MoS2。除了MoS2岛，我们还看到对角线贯穿每个样本。这些是蓝宝石衬底上的台阶，可以通过2D薄膜看到。蓝宝石阶梯与MoS2层之间可以通过台阶高度明确区分，c面蓝宝石为0.2nm，单层MoS2台阶为0.6 nm，如图1（f）横截面所示。多层样品与其他两个样品不同之处在于MoS2表面具有3D金字塔状结构。这些金字塔位于一个完全封闭的三层结构上，其形成是由于随着层厚的增加，生长机制由逐层向三维转变。增长的细节可以在参考文献12中找到。导电扫描探针显微镜   本文采用两种导电扫描探针显微镜（SPM）来表征MoS2的电子性质：导电原子力显微镜（C-AFM）和扫描隧道显微镜（STM）。在C-AFM中，悬臂梁与材料表面接触，并且同时记录形貌和电流。为了测量电流，在样品台上施加一个偏压，并通过连接到导电AFM探针的外部电流放大器来测量电流。材料的电接触是通过在材料的顶部和侧面涂上银漆来实现的。我们使用商用Pt-Ir涂层探针，如PPP-CONTSCPt或PPP-NCSTPt，其标称弹簧常数在0.2-7N/m之间。由于C-AFM是一种基于接触的AFM技术，它还能够实现其他C-AFM通道的同时一起记录侧向力。横向力显微镜（LFM）测量激光在PSD上的横向偏转，这是由于悬臂梁在扫描表面时的扭转或扭曲而引起的，如图1（e）所示。LFM图像的正向和反向的差异与物质的摩擦力成正比，后者不同于C-AFM，因为裁剪的Pt-Ir导电导线，在我们的例子中，用于测量当探针高于表面几埃时探针与样品之间的隧穿电流。STM可以通过保持高度恒定并记录电流（称为恒定高度模式）或使用反馈保持电流水平恒定并记录高度（恒流模式）来执行。在恒流模式下，高度图像包含形貌和电学信息。C-AFM 在空气中与在高真空中   为了证明二维材料表面水层的重要性，我们分别对空气和高真空（HV）中的相同MoS2样品进行了C-AFM测量，如图2（a-b）和（c-d）。虽然在空气中和在高真空环境中扫描的形貌图像非常相似，但是C-AFM图像有很大的不同。最值得注意的是，在高真空下测量的电流增加了三个数量级。在5V偏压下，空气中的平均电流水平为1.4nA，而在高真空下，平均电流水平为1.1μA。电流水平的提高是由于去除了空气中始终存在于样品表面的薄水层。该水层对MoS?尤其成问题，因为它对材料进行p-掺杂，有效地切断了它的电性。从类似的CVD生长的MoS2器件的电输运来看，在暴露于去离子水两小时后，通态电流严重退化，迁移率降低了40%。图2: 3-4 MoS2样品的C-AFM显示高真空下电流水平和灵敏度增加。(a)和(b)分别是在空气中5V偏压下的形貌图和电流图像。(c)和(d)是在0.5 V偏压下泵送至高真空后立即拍摄的形貌图和电流图像。在空气和高真空中采集的数据采用相同的参数：相同的探针，弹簧常数k为7 N/m，设定值为10 nN，扫描频率为1 Hz。比例尺为500 nm。  除了电流的增加，高真空下的C-AFM图像也显示了更多的细节。从空气中的图像来看，电流是相对均匀的。除此之外，C-AFM 在空气中针对此样品提取不出太多的信息。相比之下，从真空下扫描的电流图，我们可以清楚地看到MoS2层中的晶界。尽管C-AFM探针与材料直接接触，但施加的力很小，因此在重复扫描过程中不会去除MoS2材料。图3所示为同一样品在高压下以~30nN力进行5次扫描后的形貌图，探针的标称弹簧常数为~7N/m。图3: (a)是3-4层MoS2的最初形貌图，（b）是在0.1V设定值下连续扫描5次后的形貌图，使用弹簧常数约为7 N/m的PPP NCSTPt探针。比例尺为50nm。专为晶界分析的C-AFM和LFM   当使用低弹簧常数探针成像时，例如标称弹簧常数为0.2N/m的PPP-CONTSCPt，我们可以用C-AFM同时获得摩擦数据，从而考虑到形貌、电学和材料特性之间的相关性。图3显示了1-2层MoS2样品的高度、摩擦和电流图像。在图3(a)中，第一层和第二层区域分别标记为1Ly和2Ly。晶界处的摩擦比原始区域高，因此它们在摩擦中表现为黑线。通过比较电流和摩擦力，可以看出摩擦图像中的黑线与电流中的黑线相匹配。然而，由于衬底对2D薄膜的局部导电性的影响，电流图像显示了额外的特征。图4：(a)形貌，(b)摩擦，(c)在1-2层生长的MoS2 / 蓝宝石样品上同时获得的电流。各区域的层厚如(a)所示。比例尺为200 nm。扫描隧道显微镜观察MoS2  借助Park NX-Hivac原子力显微镜，我们还能够获得高质量的STM图像，而无需复杂的超高真空系统和特殊的样品制备/处理。图4显示了在恒流模式下成像的多层MoS2样品的500 nm扫描，Iset=0.5nA, Vbias=1V。由于STM给出了形貌与电子结构的卷积，我们在高度图像中看到了层岛和晶界。图5:多层膜的MoS2 / 蓝宝石的STM图像。裁剪的Pt-Ir导线在恒流模式下 。Iset=0.5nA, Vbias=1V。比例尺为200nm。结论   本研究利用Park NX-Hivac AFM系统，对过渡金属二氯生化合物（TMDs）家族的二维材料二硫化钼（MoS2）进行了形态和电学方面的研究。在AFM形貌图像上观察了单层和多层的差异。此外，在多层图像上确定了由逐层生长机制引起的三维金字塔状结构的细节。  利用导电SPM（C-AFM和STM）研究了MoS2在空气中和高真空条件下的电学性能。在高真空条件下，尽管存在氧化层，但测量到的电流信号清晰、均匀、较高。最后，结合C-AFM和LFM获得了晶界分析的形貌、电学和力学信息。这种方法可以在晶界上找到更具体和更详细的结构。   二维层状材料广泛应用于工业和学术的各个研究领域。二维材料电性能和力学性能的表征与探索是材料研究领域的一个重要课题。原子力显微镜是一种多功能的成像和测量工具，它允许我们使用各种成像模式从多个角度评估二维材料。本研究强调材料分析的改进策略。此外，这些结果强调了多方向和多通道分析二维材料的重要性，其中包括半导体工业高度关注的过渡金属二氯代物。References1. K. S. Novoselov, A. Geim, S. V. Morozov, D. Jiang, Y. Zhang, S. V. Dubonos, I. V. Grigorieva, &A. A. Firsov. Electric field effect in atomically thin carbon films. Science306, 666–669 (2004).2. A. K. Geim & I. V. Grigorieva. Van der Waals heterostructures. Nature499, 419–425 (2013).3. K. F. Mak, C. Lee, J. Hone, J. Shan, & T. F. Heinz. Atomically Thin MoS 2?: A New Direct-Gap Semiconductor. Phys Rev Lett105,136805 (2010).4. H. Liu, A. T. Neal, Z. Zhu, Z. Luo,X. Xu, D. Tománek,&P. D. Ye. Phosphorene: an unexplored 2D semiconductor with a high hole mobility. ACS Nano8, 4033–4041 (2014).5. J. Zhao, H. Liu, Z. Yu, R. Quhe, S. Zhou, Y. Wang, C. C. Liu, H. Zhong, N. Han, J. Lu, Y. Yao,&K. Wu. Rise of silicene: A competitive 2D material. Prog Mater Sci83, 24–151 (2016).6. C. R. Dean, A. F. Young, I. Meric, C. Lee, L. Wang, S. Sorgenfrei, K. Watanabe, T. Taniguchi, P. Kim, K. L. Shepard, & J. Hone.Boron nitride substrates for high-quality graphene electronics. Nat Nanotechnol5, 722–726 (2010).7. X. Xu, W. Yao, D. Xiao, &T. F. Heinz. Spin and pseudospins in layered transition metal dichalcogenides. Nat. Phys.10, 343–350 (2014).8. G. Fiori, F. Bonaccorso, G. Iannaccone, T. Palacios, D. Neumaier, A. Seabaugh, S. K. Banerjee,& L. Colombo. Electronics based on two-dimensional materials. Nat Nanotechnol9, 768–779 (2014).9. X. Xi, L. Zhao,Z. Wang, H. Berger, L. Forró, J. Shan,& K. F. Mak. Strongly enhanced charge-density-wave order in monolayer NbSe2. Nat. Nanotechnol.10, 765–769 (2015).10. S. Manzeli, D. Ovchinnikov, D. Pasquier, O. V. Yazyev, &A. Kis. 2D transition metal dichalcogenides. Nat. Rev. Mater.2, 17033 (2017).11. W. Choi, N. Choudhary, G. H. Han, J. Park, D. Akinwande,&Y. H. Lee. Recent development of two-dimensional transition metal dichalcogenides and their applications. Mater. Today20, 116–130 (2017).12. D. Chiappe, J. Ludwig, A. Leonhardt, S. El Kazzi, A. Nalin Mehta, T. Nuytten, U. Celano, S. Sutar, G. Pourtois, M. Caymax, K. Paredis, W. Vandervorst, D. Lin, S. Degendt, K. Barla, C. Huyghebaert, I. Asselberghs, and I. Radu, Layer-controlled epitaxy of 2D semiconductors: bridging nanoscale phenomena to wafer-scale uniformity. Accepted Nanotechnology (2018).13. E. R. Dobrovinskaya, L. A.Lytvynov,& V. Pishchik. Sapphire: material, manufacturing, applications. Springer Science & Business Media, 2009.14. B. Radisavljevic, A. Radenovic, J. Brivio, V. Giacometti, & A. Kis. Single-layer MoS2 transistors. Nat Nanotechnol6, 147–150 (2011).15. A. Leonhardt, D. Chiappe, I. Asselberghs, C. Huyghebaert,&I. Radu. Improving MOCVD MoS 2 Electrical Performance: Impact of Minimized Water and Air Exposure Conditions. IEEE Electron Device Lett38(11) 1606-1609 (2017).

仪器信息网讯 6月23日，知名原子力显微镜（AFM）制造商Park原子力显微镜公司（Park Systems Inc.）宣布推出高分辨率、自动化原子力显微镜新品——Park NX-TSH，据介绍，Park NX-TSH的龙门架设计平板式探针扫描器专为最新一代显示器工厂的应用需求研发设计，最大样品可以测到2200 mm。另外，其模块化设计还可在提供样品3D形貌的同时提供微区电流测量。产品研发背景：迎合OLED新兴市场带来照明和屏幕技术的需求有机发光二极管(OLED)技术由于其扁平、薄如纸、柔韧性，并且具有漫射光的能力，该技术有望在未来几年显著推动市场增长。数据显示，OLED面板市场在2020-2025年期间将以12.9％的复合年增长率增长，到2025年将达到455.5亿片。尽管受全球新型冠状病毒疫情影响而总体上将出现小幅下滑，但业内专家仍预计OLED面板将成为全球采用的一种重要的显示技术趋势，且屏幕尺寸将更大，分辨率将提高到8K，并将具有新的外形规格。为了迎合OLED市场的需求，原子力显微镜制造商Park 原子力显微镜开发了Park NX-TSH，扩大了其Gen8 +和所有大型平板显示器的AFM工具。为制造下一代平板显示器制造商而开发，以克服300 mm样品尺寸的限制。Park NX-TSH：用于大样品分析，最大样品2200 mm！尖端扫描头（TSH）是一种自动移动的扫描头，适用于对OLED，LCD，光子学用于最大尺寸达2200 mm的大样品进行工业AFM测量，用于大样品分析。自动的尖端扫描头采用气载台技术，可将x，y，z扫描仪直接移动到基板上的所需位置。“Park NX-TSH专为生产制造下一代平板显示器的半导体厂（fab）开发设计，并克服了300 mm的门槛限制。”Park市场部副总裁Keibock Lee谈道。自动化的Park NX-TSH系统通过龙门式尖端扫描仪系统克服了纳米计量学的挑战，该系统可直接移动到样品上的某个位置，并生成粗糙度测量，台阶高度测量，临界尺寸和侧壁测量的高分辨率图像。Park NX-TSH可以在x，y和z方向上扫描针尖，最大扫描方向为100 µm x 100μm（x-y方向），z方向为15μm，并具有灵活的卡盘，可容纳大型和重型样品。随着对更大尺寸的平板显示器的需求增加到65英寸，75英寸甚至更多。Park NX-TSH通过自动尖端扫描系统克服了这些挑战，而在龙门式尖端扫描仪系统中克服了纳米计量学的挑战。Park NX-TSH专为Gen8+和所有大平板显示器研发，不仅能够进行纳米级尺寸测量，也可进行微区电性测试。同时，Park NX-TSH还可以兼容多种型号机械手臂，实现自动化测量。该全自动Park NX-TSH系统专为超大样品量身订造，扫描器可以固定在龙门架上，并能提供高分辨率的粗糙度测量，步长测量，临界尺寸和侧壁测量。Park NX-TSH将样品固定在样品卡盘上，连接到机架的尖端扫描头移动到表面样品的测量位置。这也使得Park NX-TSH尖端扫描头系统克服了样品尺寸和重量的限制。原子力显微镜是一种准确、无损的纳米级样品测量方法，使用Park NX-TSH，可以在龙门式桥架上的OLED，LCD等上获得可靠的高分辨率AFM图像，从而系统的提高生产率和质量。值得关注的是，Park 原子力显微镜将参加6月27日-29日上海新国际博览中心举办的Semicon China，并在展位E7549上现场演示新品Park NX-TSH和NX-Photomask，并将在稍后举行的SEMICON West展会上进行线上产品展示秀。届时，大家感兴趣可以现场观摩咨询。（地址：上海新国际博览中心；时间：2020年6月27-29日；展位：E7 7549）关于Park原子力显微镜Park原子力显微镜公司是目前世界上发展最快的原子力显微镜(AFM)制造商之一，为化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储行业的研究人员和工程师提供了一系列完整的产品。 Park的客户包括20多家全球最大的半导体公司，以及亚洲、欧洲和美洲的国立研究型大学。Park 原子力显微镜是韩国证券交易所(KOSDAQ)的上市公司，公司总部位于韩国水原，地区总部位于美国加州圣克拉拉、德国曼海姆、中国北京、日本东京、新加坡和墨西哥墨西哥城。

Park原子力显微镜公司，作为世界知名的原子力显微镜制造商宣布了一款新品，名为Park NX-TSH, 此款龙门架设计平板式探针扫描器专为最新一代显示器工厂的应用需求研发设计，最大样品可以测到2200 mm。NX-TSH的模块化设计还可在提供样品3D形貌的同时提供微区电流测量。 Park将参加6月27-29日举行的SEMICON China 2020，并在E7549展位上展示新品Park NX-TSH和NX-Photomask, 并将在稍后举行的SEMICON West展会上进行线上产品展示秀。地址：上海新国际博览中心时间：2020年6月27-29日展位：E7 7549  新品看点多多：Park NX-TSH为OLED面板行业整片测量， 超高尺寸镜片测量，提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。该全自动Park NX-TSH系统专为超大样品量身订造，扫描器可以固定在龙门架上，并能提供高分辨率的粗糙度测量，步长测量，临界尺寸和侧壁测量。 Park NX-TSH专为Gen8+和所有大平板显示器研发，不仅能够进行纳米级尺寸测量，也可进行微区电性测试。不仅如此，Park NX-TSH还可以兼容多种型号机械手臂，实现自动化测量。

2020年5月11日，原子力显微镜制造商Park原子力显微镜公司（Park Systems）宣布，该公司入选了英国《金融时报》(FT)近日发布的“2020亚太区高成长500强企业榜单”。  《金融时报》(FT)依据各企业2015至2018年的年复合成长率(CAGR)排名，选出亚太地区500家成长最快的企业，他们分别来自亚太区域11个经济体，包括新加坡、马来西亚、印度尼西亚、菲律宾、澳大利亚、新西兰、印度、日本、韩国等。数据显示，今年上榜企业的最低平均增长率为8.3%。据悉，所有上榜企业的相关数据都通过了国家统计局的核查，不符合上榜标准的企业会被剔除。榜单由德国统计数据门户Statista编制。从榜单中企业行业分布来看，上榜最多的是科技行业企业，约有四分之一的上榜公司属于这一类别。《金融时报》表示，亚太企业和其他地区一样，深受全球疫情蔓延的影响，尽管榜单评选时尚未把疫情列入考虑，但仍有助判断哪些企业的缓冲能力较强，足以在疫情之中幸存下来。那些反应最灵敏、最具创造力的企业，将化危机为“创新的催化剂”，中期内有望各自快速发展。Park原子力显微镜公司总部位于韩国水源 2015年，Park原子力显微镜公司在KOSDAQ上市自首次公开募股以来，其销售额每年都创新高，Park原子力显微镜公司在2020年新冠疫情大流行的情况下，业绩再创新高，在英国《金融时报》500强韩国企业的排名中，排名第25位。 Park原子力显微镜副总裁Keibock Lee评论道:“我们很高兴能跻身亚太地区增长最快的公司前10%的行列。随着我们对原子力显微镜系统的创新设计，以及在资本资产、研发和人员方面的不断加大投入，相信我们能够在我们所服务的快速发展的纳米技术行业实现高速增长。我们在提供最精确、最高纳米分辨率的AFM技术优势方面有着悠久的历史，这一直是我们持续增长的不竭动力。”Park原子力显微镜成立于1997年，是AFM行业的全球市场知名品牌。公司拥有多项与AFM技术相关的专利，产品涵盖从用于研究的桌面AFM到用于半导体制造质量保证的带有机械臂的全自动AFM系统。Park原子力显微镜的主要客户包括全球数千所知名大学、国家实验室和行业领先企业，以及几乎所有领先半导体公司的AFM的主要供应商。近来，Park原子力显微镜推出系列新计划来推广期AFM产品，包括设立研究基金、奖学金等。如提供Park AFM奖学金项目；最近扩大在线学习项目，提供公司网络研讨会、现场演示和用户聊天；举办纳米科学研讨会，以推广应用和技术，促进科学发现等。关于Park原子力显微镜Park原子力显微镜公司是目前世界上发展最快的原子力显微镜(AFM)制造商之一，为化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储行业的研究人员和工程师提供了一系列完整的产品。 Park的客户包括20多家全球最大的半导体公司，以及亚洲、欧洲和美洲的国立研究型大学。Park 原子力显微镜是韩国证券交易所(KOSDAQ)的上市公司，公司总部位于韩国水原，地区总部位于美国加州圣克拉拉、德国曼海姆、中国北京、日本东京、新加坡和墨西哥墨西哥城。  

 仪器信息网讯 2020年5月11日，原子力显微镜制造商Park原子力显微镜公司（Park Systems）宣布，该公司入选了英国《金融时报》(FT)近日发布的“2020亚太区高成长500强企业榜单”。《金融时报》(FT)依据各企业2015至2018年的年复合成长率(CAGR)排名，选出亚太地区500家成长最快的企业，他们分别来自亚太区域11个经济体，包括新加坡、马来西亚、印度尼西亚、菲律宾、澳大利亚、新西兰、印度、日本、韩国等。数据显示，今年上榜企业的最低平均增长率为8.3%。据悉，所有上榜企业的相关数据都通过了国家统计局的核查，不符合上榜标准的企业会被剔除。榜单由德国统计数据门户Statista编制。从榜单中企业行业分布来看，上榜最多的是科技行业企业，约有四分之一的上榜公司属于这一类别。《金融时报》表示，亚太企业和其他地区一样，深受全球疫情蔓延的影响，尽管榜单评选时尚未把疫情列入考虑，但仍有助判断哪些企业的缓冲能力较强，足以在疫情之中幸存下来。那些反应最灵敏、最具创造力的企业，将化危机为“创新的催化剂”，中期内有望各自快速发展。Park原子力显微镜公司总部位于韩国水源2015年，Park原子力显微镜公司在KOSDAQ上市自首次公开募股以来，其销售额每年都创新高，Park原子力显微镜公司在2020年新冠疫情大流行的情况下，业绩再创新高，在英国《金融时报》500强韩国企业的排名中，排名第25位。Park原子力显微镜副总裁Keibock Lee评论道:“我们很高兴能跻身亚太地区增长最快的公司前10%的行列。随着我们对原子力显微镜系统的创新设计，以及在资本资产、研发和人员方面的不断加大投入，相信我们能够在我们所服务的快速发展的纳米技术行业实现高速增长。我们在提供最精确、最高纳米分辨率的AFM技术优势方面有着悠久的历史，这一直是我们持续增长的不竭动力。”Park原子力显微镜成立于1997年，是AFM行业的全球市场知名品牌。公司拥有多项与AFM技术相关的专利，产品涵盖从用于研究的桌面AFM到用于半导体制造质量保证的带有机械臂的全自动AFM系统。Park原子力显微镜的主要客户包括全球数千所知名大学、国家实验室和行业领先企业，以及几乎所有领先半导体公司的AFM的主要供应商。近来，Park原子力显微镜推出系列新计划来推广期AFM产品，包括设立研究基金、奖学金等。如提供Park AFM奖学金项目；最近扩大在线学习项目，提供公司网络研讨会、现场演示和用户聊天；举办纳米科学研讨会，以推广应用和技术，促进科学发现等。关于Park原子力显微镜Park原子力显微镜公司是目前世界上发展最快的原子力显微镜(AFM)制造商之一，为化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储行业的研究人员和工程师提供了一系列完整的产品。 Park的客户包括20多家全球最大的半导体公司，以及亚洲、欧洲和美洲的国立研究型大学。Park 原子力显微镜是韩国证券交易所(KOSDAQ)的上市公司，公司总部位于韩国水原，地区总部位于美国加州圣克拉拉、德国曼海姆、中国北京、日本东京、新加坡和墨西哥墨西哥城。

左图：SnSe晶体表面的KPFM图像，图中颜色代表测得的表面电势数值。右图：SnSe和SnSe2天然异质结的band alignment。  原子力显微镜在材料表面形貌和性质的研究中起着重要的作用，不仅可以用于薄膜材料，也可以用于研究单晶表面。热电材料能够利用赛贝克(Seebeck)效应收集废热发电，是一种潜在的绿色能源材料。硒化锡(SnSe)单晶在923K时热电品质因子达到了创纪录的2.6，因此有非常广阔的应用前景。然而，SnSe单晶的空穴自掺杂来源没有定论。我们使用AFM研究了SnSe中的两种缺陷：SnSe2杂相和点位错，对SnSe掺杂和电子结构的成因进行了解释。本次网络讲座主要包括两个部分：(1)开尔文探针显微镜的原理和操作 (2)原子力显微镜在热电材料SnSe研究中的应用。网络讲座时间：2020年5月21日上午10:00-11:00请关注“帕克原子力显微镜Park”，在公众号内容里面申请主讲人：  胡奇峰，浙江大学物理系博士，导师为郑毅教授。主要研究方向为二维材料多铁器件及其电子输运，曾使用原子力显微镜研究热电材料SnSe的缺陷。参与发表SCI论文3篇，曾获得“2011协同创新中心博士生入学奖学金一等奖”。

仪器信息网讯 2020年4月29日，Park原子力显微镜（Park Systems）宣布最终完成对美国加州圣何塞的Molecular Vista进行的股权投资。Molecular Vista作为一家AFM生产商，主要聚焦于基于光诱导力显微镜的纳米红外技术（IR PiFM）进行AFM红外联用的定量可视化研究工作，从而实现分子水平上探测和解析物质的红外光谱特征。Molecular Vista推出全新一代的原子力显微镜VistaScope与红外光诱导力显微镜联用, 提供纳米成像与光谱原子力显微镜(AFM)经过30多年的发展后，从形貌测试及其它常规功能来看已经非常成熟。然而常规的原子力显微镜也越来越无法满足科研人员在纳米尺度下对于样品进行多性质原位测试分析的更高需求，尤其在化学、光学、电学、热学、力学等领域。在这一背景下，美国Molecular Vista应运而生，推出了全新一代原子力显微镜VistaScope。PiFM是AFM和IR光谱在集成研究系统的的联用工作，可以有效进行并实现纳米尺度材料表面物性和化学分析，并广泛应用于各种有机和无机材料，为最新的材料，化学研究工作提供重要的研究和分析手段。“我们相信，Molecular Vista凭借独有的技术已经走在了AFM行业的最前沿，”Park原子力显微镜首席执行官Sang-il Park博士评论道。“我们很高兴能够成为由Sung Park和他的管理团队创建的AFM红外联用前沿技术的公司的重要组成部分，公司发展未来可期。”AFM能够进行纳米级形貌成像，并且包括其他多种测量模式，对样品的机械性能，电学性能和多种物理特性进行成像。 现在，随着PiFM技术的加入，Molecular Vista将凭借AFM在纳米材料/结构领域超过30年的应用和研究成果，为研究人员和工程人员提供化学和分子组成信息。“Park原子力显微镜的投资将帮助显著扩展我们技术驱动的IR PiFM平台，填补纳米级分子和化学分析的一个关键空白，”Molecular Vista首席执行官Sung Park声明到。“我们很荣幸能够和与AFM自发明以来就处于领先地位的行业领导者Park原子力显微镜公司成为股权合作伙伴。关于Park原子力显微镜公司Park原子力显微镜公司（Park Systems）成立于1997年，是一家专门从事纳米设备测量的公司，Park公司在AFM技术发展中发挥着举足轻重的作用， Park的AFM系列为用户提供无与伦比的准确性和易用性。通过专门设计用于材料科学，电子学，生命科学，纳米技术以及其他研究和工业领域的原子力显微镜。Park原子力显微镜已经是一家在韩国股市交易中心（KOSDAQ）的上市公司，总部位于韩国水源，并在 中国，美国，德国，墨西哥，日本和新加坡都设有分公司。关于Molecular VistaMolecular Vista致力于设计，开发和提供工具，旨在让客户通过定量可视化在分子水平上探查和了解物质。其首个产品VistaScope提供了灵活的混合原子力显微镜（AFM）和光谱学平台，用于研究具有化学特异性且具有纳米空间分辨率的材料和生物系统。 VistaScope配备了获得专利的光致感应力显微镜（PiFM），可通过检测尖端与样品之间的时间积分力直接在近场中测量样品的光致偏振。通过对特定于不同化学实体的红外波长进行成像，PiFM可以解析各种多相和多组分系统中每种化学物质的纳米级分布，从而为研究人员揭示了前所未有的壮观分子前景。VistaScope建立在具有顶部，底部和侧面照明/收集（均具有高NA）功能的超稳定和灵活的光学平台之上，并可以配备互补技术，例如散射SNOM（Vista-SNOM）和尖端增强拉曼光谱仪光谱仪（Vista-TERS）。Molecular Vista由两位行业资深人士创立，他们是Kumar Wickramasinghe教授（加州大学Irvine分校，曾任职IBM Research）和Sung Park博士（Park Scientific Instruments的共同创始人）。

2020年4月29日，Park原子力显微镜宣布最终完成对美国加州圣何塞的Molecular Vista进行的股权投资。Molecular Vista作为一家AFM的生产商，该公司主要聚焦于基于光诱导力显微镜的纳米红外技术（IR PiFM）进行AFM红外联用的定量可视化研究工作，从而实现分子水平上探测和解析物质的红外光谱特征。 Molecular Vista推出全新一代的原子力显微镜VistaScope与红外光诱导力显微镜联用, 提供纳米成像与光谱。  PiFM是AFM和IR光谱在集成研究系统的的联用工作，可以有效进行并实现纳米尺度材料表面物性和化学分析，并广泛应用于各种有机和无机材料，为最新的材料，化学研究工作提供重要的研究和分析手段。 “我们相信，Molecular Vista凭借独有的技术已经走在了AFM行业的最前沿，”Park原子力显微镜首席执行官Sang-il Park博士评论道。“我们很高兴能够成为由Sung Park和他的管理团队创建的AFM红外联用前沿技术的公司的重要组成部分，公司发展未来可期。” AFM能够进行纳米级形貌成像，并且包括其他多种测量模式，对样品的机械性能，电学性能和多种物理特性进行成像。 现在，随着PiFM技术的加入，Molecular Vista将凭借AFM在纳米材料/结构领域超过30年的应用和研究成果，为研究人员和工程人员提供化学和分子组成信息。 “Park原子力显微镜的投资将帮助显著扩展我们技术驱动的IR PiFM平台，填补纳米级分子和化学分析的一个关键空白，”Molecular Vista首席执行官Sung Park声明到。“我们很荣幸能够和与AFM自发明以来就处于领先地位的行业领导者Park原子力显微镜公司成为股权合作伙伴。 关于Park原子力显微镜公司介绍：Park原子力显微镜公司（Park Systems）成立于1997年，是一家专门从事纳米设备测量的公司，Park公司在AFM技术发展中发挥着举足轻重的作用， Park的AFM系列为用户提供无与伦比的准确性和易用性。通过专门设计用于材料科学，电子学，生命科学，纳米技术以及其他研究和工业领域的原子力显微镜。Park原子力显微镜已经是一家在韩国股市交易中心（KOSDAQ）的上市公司，总部位于韩国水源，并在 中国，美国，德国，墨西哥，日本和新加坡都设有分公司。

Luc Van de hove博士（imce总裁&首席执行官）与Sang-il Park博士（Park原子力显微镜公司总裁）有着先进计量学解决方案的创新型原子力显微镜公司Park以及全球领先的纳米电子研发与创新中心的imec，于2020年2月17日在比利时鲁汶的imec总部正式举行了签约仪式。这是合作双方在4年内签署的第二个联合开发项目（JDP），双方都致力于加大力度研发下一代的在线AFM计量解决方案。 新的JDP扩展了合作关系，以探索适用于晶圆半导体领域的AFM计量解决方案的新领域。第一个JDP成功探索出在线自动原子力显微镜在半导体研究中的强大性能，例如表面粗糙度，临界尺寸（CD）和侧壁粗糙度；而第二个JDP则适用于多个战略性发展，以应对不断缩小规模的当前计量挑战设备和3D组件堆叠的几何尺寸。 “与imec等领先的研究中心合作，对我们能够提供满足研究和工业市场需求的最佳技术解决方案至关重要。我很高兴再次与imec合作，进行此项探索。我也期待着进一步的合作卓有成效。”Park原子力显微镜公司首席执行官Sang-il Park博士评论道。 Kristof Paredis博士（imec研发经理）补充说：“Park公司在过去几年里取得了长足发展，这无疑对我们与Park的共同开发工作有很大帮助。我们刚签署的联合开发项目也展现了我们之间最真诚美好的合作关系。”。 在2015年签署首个JDP后，Park原子力显微镜公司正式加入了imec的工业联盟计划（IIAP），并成为IIAP的重要成员。从那时起，Park和imec中以研究员和工程师为主的跨学科团队夜以继日研发，旨在提高半导体行业的生产良率和器件性能。为了应对越来越精巧化的半导体器件的市场挑战，合作双方将重点放在新型JDP的实际问题解决应用程序上，创新的3D计量学功能将应运而生。微信公众号：帕克原子力显微镜ParkB站学习视频：ParkAFM