近日,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的纳米真空互联实验站(Nano-X)完成了俄歇电子能谱仪(PHI 710 Auger NanoProbe)安装调试,这是继PHI XPS之后,Nano-X从ULVAC-PHI公司采购的第二套大型科研仪器。PHI 710俄歇电子能谱仪作为重要的表面分析设备,将与Nano-X的超高真空互联管道对接,进一步完善了Nano-X现有的表面分析设备体系(XPS、TOF-SIMS、SEM、AFM、STM等),将助力推动半导体、微电子器件和冶金等领域研究的发展。
AES功能介绍
PHI 710 Auger NanoProbe的主要功能包括SEM成像、元素成分半定量/化学态分析、一维/二维元素分布、深度剖析及EBSD分析。该设备采用热场发射电子枪,具有稳定细小的电子束斑,SEM成像分辨率≤3纳米,AES成像分辨率≤8纳米;采用CMA同轴分析器,能全方位收集产生的俄歇电子,因此具有不受样品形貌和倾角影响的优点;能量分辨率0.5%~0.1%连续可调,亦能实现高灵敏度和高传输率;采用Ar离子枪实现样品表面清洁、荷电中和以及成分深度剖析;配备电子散射衍射探测器(EBSD),可提供晶体结构和晶格取向的分析。
PHI与高德
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