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微区扫描光电子能谱仪

2014-06-24 11:20

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资料摘要:

基于PHI相当成功的扫描X射线微探针技术,PHI-XPS系统可提供高性能的微区光谱、化学成分图、二次电子像,最新的扫面聚焦XPS可将X束斑最小聚焦至7.5μm。PHI专利的双束中和法采用低能离子束与低能电子束,对绝缘样品可进行有效分析。集成的悬浮离子枪让无机薄膜结构的深度分析恰到好处。全自动五轴样品台,简化了多样品的自动分析,可进行常中心旋转得到深度剖析需要的清晰界面。
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原位XPS(常规X射线光电子能谱)结合HAXPES(硬X射线光电子能谱)技术,具备从表面至体相(梯度变化)无损深度分析的能力,为表/界面研究提供了重要的技术支持。

关键词:燃料电池、XPS-HAXPES、大面积SXI、Mosaic、深剖、StrataPHI、膜厚

Ar-GCIB团簇离子尺寸测量配件作为优化GCIB溅射能力的有效工具,能够实现溅射损伤和溅射速率之间的平衡,为新型纳米材料和复杂混合样品的深度分析提供了强大工具。

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