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半球形能量分析器-固定减速比模式
作为通用的能量分析器,半球形能量分析器(SCA/CHA)见图1,既可以用于光电子能谱仪(XPS),也可以用于俄歇电子能谱仪(AES)。考虑到俄歇电子发射效率低,为了将俄歇电子从背景信号中分离出来,提高俄歇电子检测灵敏度,SCA/CHA用于俄歇电子能谱仪时,首要的是提高俄歇电子传输效率,而不是提高谱仪的能量分辨率。本文将着重介绍SCA/CHA在俄歇电子分析中的应用。
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2015/06/01
分析仪器中常用的能量分析器 带电粒子能量分析器
粒子能量分析器就是根据粒子不同的能量,将其分开的装置,常用的粒子能量分析器,主要是静电场型能量分析器。常用的静电能量分析器有以下几种,即同轴筒镜能量分析器(CMA)(如图1),扇形能量分析器(如图2),和半球形能量分析器(SCA/CHA)(如图3)。它们均可以将不同动能的带电粒子分散开,即按照粒子能量高低排列成一系列的谱线。
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2015/05/04
AES深度剖析数据处理LLS&TFA
PHI MultiPak 是ULVAC-PHI公司开发用于电子能谱分析的数据后处理软件。它集成了大量的标准图谱数据库,支持谱峰识别、化学态信息提取、定量分析等强大功能。它同时还整合了强大高级算法工具,可以进行数据集合的批处理,方便的将数值结果导出为其它格式。
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2015/03/02
AES中的全元素深度剖析
俄歇电子能谱(AES)能测量的俄歇电子只能来自样品表面约0.4-5nm的最外层,因此被称为表面分析的仪器。在实际应用中,人们还需要了解样品沿深度方向的元素分布情况,也就说需要将表面的二维分析扩展为三维深度剖析,如此仪器必须配备离子枪,对样品表面进行剥离。因为俄歇能谱仪能够控制比较小的分析面积,配上性能优越的离子枪,用溅射的方式能取得深层的元素分布情况。AES在材料分析中的应用,往往在做深度剖析时,需要预先知道一些样品的信息,及样品的膜层结构,同时也要知道每一层所含有的元素和大概的膜层厚度,以便于深度分析时,设定分析条件。
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2014/12/23
AES深度剖析概述
俄歇电子能谱(Auger electron spectroscopy,简称AES)除了可获得样品表面的成分外,还可以透过深度剖析得到元素在垂直表面方向往下的分布信息,能够提供不同微区中化学组成在深度分布中的对比变化。作为俄歇电子能谱一个最重要的分析功能,深度剖析使得俄歇电子能谱成为薄膜材料、半导体器件及各种工程实际问题研究不可缺少的分析工具之一。
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2014/12/05
AES定性与定量分析概述
俄歇电子能谱仪(Auger electron spectroscopy,简称AES),当电子照射到样品表面时,将有带着样品特征的Auger电子从样品表面发射。我们探测Auger电子的能量和数量,可以确定出元素的种类和元素的含量。俄歇电子能谱仪可以测量元素周期表中除氢、氦以外的所有元素。实际上能够测量到的特征俄歇电子只能来自样品表面0.5-7.5nm的最外层。
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2014/11/28
俄歇电子能谱仪的样品中和功能
俄歇电子能谱仪为常用的表面分析技术之一,原理是利用一电子束作为激发源,使表面原子的内层电子游离出,原电子位置产生空洞,导致能量不稳,此时外层电子会填补产生的空洞,从而释放能量传递至外层电子。此电子既为俄歇电子,因其具有特定的动能,所以能依据动能的不同来判断材料表面的元素种类。
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2014/06/24
ULVAC-PHI公司最新推出的新型表面分析仪器
在2010年9月,ULVAC-PHI公司分别推出了新型的X射线光电子能谱仪与俄歇电子能谱仪,借着本期电子报,我们希望跟大家分享一下这两款新的机种,能够带给大家什么样的应用与突破。
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2014/06/24
表面分析技术在有机材料上的应用
上期电子报中,我们已介绍了金属材料所需要的表面分析测量应用。本期我们将有机材料所需要的测量(ESCA、D-SIMS、TOF-SIMS),做一综合性的整理。
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2014/06/23
表面分析技术在金属材料上的应用
上期我们介绍了半导体材料所需的表面分析材料技术。本期我们将金属材料所需的测量技术做一汇总整理,期望这些技术可以为您提供帮助。
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2014/06/23
表面分析技术在半导体行业的应用
针对表面分析技术,到底可以应用在我们日常身边哪些例子?此期我们会先就表面分析在半导体的范畴,提供各种例子。
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2014/06/20
环境磁场问题对分析仪器的影响与解决方案
很多贵重仪器,对环境都会有一些特定的要求,像是温度、湿度或是震动与环境磁场等,环境磁场往往对各种仪器的分析结果造成一些似是而非的现象。这一期电子报,我们将会介绍环境磁场是什么、如何产生、对仪器的影响及如何达到有效的解决方案。
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2014/06/24
爱发科费恩斯(南京)仪器有限公司
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