PHI 4700 AES俄歇分析仪

半球形能量分析器－固定减速比模式

作为通用的能量分析器，半球形能量分析器（SCA/CHA）见图1，既可以用于光电子能谱仪（XPS），也可以用于俄歇电子能谱仪（AES）。考虑到俄歇电子发射效率低，为了将俄歇电子从背景信号中分离出来，提高俄歇电子检测灵敏度，SCA/CHA用于俄歇电子能谱仪时，首要的是提高俄歇电子传输效率，而不是提高谱仪的能量分辨率。本文将着重介绍SCA/CHA在俄歇电子分析中的应用。

分析仪器中常用的能量分析器　带电粒子能量分析器

粒子能量分析器就是根据粒子不同的能量，将其分开的装置，常用的粒子能量分析器，主要是静电场型能量分析器。常用的静电能量分析器有以下几种，即同轴筒镜能量分析器（CMA）（如图1），扇形能量分析器（如图2），和半球形能量分析器（SCA/CHA）（如图3）。它们均可以将不同动能的带电粒子分散开，即按照粒子能量高低排列成一系列的谱线。

AES深度剖析数据处理LLS&TFA

PHI MultiPak 是ULVAC-PHI公司开发用于电子能谱分析的数据后处理软件。它集成了大量的标准图谱数据库，支持谱峰识别、化学态信息提取、定量分析等强大功能。它同时还整合了强大高级算法工具，可以进行数据集合的批处理，方便的将数值结果导出为其它格式。

AES中的全元素深度剖析

俄歇电子能谱（AES）能测量的俄歇电子只能来自样品表面约0.4-5nm的最外层，因此被称为表面分析的仪器。在实际应用中，人们还需要了解样品沿深度方向的元素分布情况，也就说需要将表面的二维分析扩展为三维深度剖析，如此仪器必须配备离子枪，对样品表面进行剥离。因为俄歇能谱仪能够控制比较小的分析面积，配上性能优越的离子枪，用溅射的方式能取得深层的元素分布情况。AES在材料分析中的应用，往往在做深度剖析时，需要预先知道一些样品的信息，及样品的膜层结构，同时也要知道每一层所含有的元素和大概的膜层厚度，以便于深度分析时，设定分析条件。

AES深度剖析概述

俄歇电子能谱（Auger electron spectroscopy，简称AES）除了可获得样品表面的成分外，还可以透过深度剖析得到元素在垂直表面方向往下的分布信息，能够提供不同微区中化学组成在深度分布中的对比变化。作为俄歇电子能谱一个最重要的分析功能，深度剖析使得俄歇电子能谱成为薄膜材料、半导体器件及各种工程实际问题研究不可缺少的分析工具之一。

AES定性与定量分析概述

俄歇电子能谱仪（Auger electron spectroscopy，简称AES），当电子照射到样品表面时，将有带着样品特征的Auger电子从样品表面发射。我们探测Auger电子的能量和数量，可以确定出元素的种类和元素的含量。俄歇电子能谱仪可以测量元素周期表中除氢、氦以外的所有元素。实际上能够测量到的特征俄歇电子只能来自样品表面0.5-7.5nm的最外层。

俄歇电子能谱仪的样品中和功能

俄歇电子能谱仪为常用的表面分析技术之一，原理是利用一电子束作为激发源，使表面原子的内层电子游离出，原电子位置产生空洞，导致能量不稳，此时外层电子会填补产生的空洞，从而释放能量传递至外层电子。此电子既为俄歇电子，因其具有特定的动能，所以能依据动能的不同来判断材料表面的元素种类。

ULVAC-PHI公司最新推出的新型表面分析仪器

在2010年9月，ULVAC-PHI公司分别推出了新型的X射线光电子能谱仪与俄歇电子能谱仪，借着本期电子报，我们希望跟大家分享一下这两款新的机种，能够带给大家什么样的应用与突破。

表面分析技术在有机材料上的应用

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环境磁场问题对分析仪器的影响与解决方案

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