EddyCus TF map 2525 薄膜电阻和薄膜厚度测试仪 方阻测试仪 薄膜电阻测试仪
TF lab系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的薄膜面电阻(方块电阻)及薄膜厚度测量的仪器。
特点
非接触成像
高解析度成像(25 至1,000,000 点)
缺陷成像
封装层的地图
参数
薄膜电阻(欧姆/平方)
金属层厚度(nm、μm)
金属基板厚度(nm、μm)
各向异性
缺陷
完整性评定
应用
建筑玻璃(LowE)
触摸屏和平板显示器
OLED和LED应用
智能玻璃的应用
透明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热应用
电池和燃料电池
包装材料
材料
金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT(碳纳米管)、石墨
打印薄膜
导电聚合物(PEDOT:PSS)
其他导电薄膜及材料
规格参数
测量技术:非接触式涡流传感器
基板:例如:薄膜、玻璃、晶圆,等等
最大扫描面积:10 inch / 254 x 254 mm(根据要求可以更大)
边缘效应修正/排除:对于标准尺寸,排除2 mm的边缘
最大样品厚度/传感器间隙:2 / 5 / 10 / 25 mm(由最厚的样本确定)
薄膜电阻的范围:
低 0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
标准 1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
高 10 - 10,000 Ohm / sq; 4 至 8 % 精度
金属膜的厚度测量(例如:铝、铜):2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)
扫描间距:1 / 2 / 5 / 10 mm (根据要求的其它尺寸)
每单位时间内测量点(二次形):
5分钟内10,000个测量点
30分钟内1,000,000 个测量点
扫描时间:
4 inch / 100 x 100 mm,在0.5至5分钟内(1-10mm 间距)
8 inch / 200 x 200 mm,在1.5至15分钟内(1-10mm 间距)
装置尺寸(宽/厚/深):549 x 236 x 786(836) mm / 23.6 x 9.05 x 31.5 inch
重量: 27 kg
可用特色:
薄膜电阻成像
各向异性电阻传感器