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RIE反应离子刻蚀机

品牌：
产地： 美国
型号： RIE-1701
报价： 面议
产品介绍

RIE反应离子刻蚀机 Reactive Ion Etching(RIE)

March RIE 反应离子刻蚀机

RIE 各项异性&各向同性等离子刻蚀系统


Nordson MARCH's RIE-1701 等离子系统是设计用于先进的刻蚀应用，如：失效分析时去除夹层膜材，解封装和去除介电材料，氧化物、氮化物、聚酰亚胺、硅、金属、用于MEMS/LED/IC 器件生产的III-V 和 II-VI 材料的刻蚀，环氧去除，光刻胶剥除和预处理。


紧凑、桌面型配置、负担的起的反应离子刻蚀(RIE) 系统。


Nordson MARCH 的 RIE-1701 各向异性反应离子刻蚀等离子系统是完全自包含的，仅需要较小的桌面空间。等离子刻蚀底盘，也同样是作为一个集成的安全屏蔽罩，内部包括了等离子腔体、控制电子、13.56MHz的射频发生器，以及自动调谐网络（仅仅是真空泵是位于系统之外的）。通过一个互锁门或者容易拆除的面板可以方便的进行维护。


等离子腔体是由高质量阳极化铝和优越耐久性的陶瓷治具组成的。等离子腔体能够配置6"或者8"电源电极来适应广泛的晶圆尺寸、IC封装和其它元件。

高性能等离子刻蚀用于失效分析或MEMs、LED器件生产。


等离子刻蚀能够适应广泛的工艺气体，包括：氩气、氧气、氢气/混合气体、氦气、CF4 和 SF6。标准配置为2路质量流量控制器，用于气体控制，还具有两路可选气体（一共4路）。


RIE 各项异性&各向同性等离子刻蚀系统的特点和优势


触摸屏控制，图形用户界面提供实时工艺数据和反馈

13.56 MHz 射频发射器和自动调谐网络提供良好的工艺重复性

温度控制回路集成在等离子腔体内，使得精确控制成为可能

可选的涡轮分子泵组件和蝶形阀压力控制


售后服务
保修期： 免费保修一年，保外提供收费服务
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 有
免费培训： 保修期内免费提供培训保修期外提供收费培训服务
免费仪器保养： 保修期内提供免费上门提供保养保修期外提供收费上门保养
保内维修承诺： 免费保修
报修承诺： 24小时服务
工商信息

企业名称

北京锐峰先科技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91110108753330805F

成立日期

2003-08-08

注册资本

200万元

经营范围

技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务、技术推广;计算机技术培训;租赁机械设备(不含汽车租赁):销售机械设备、电子产品、通讯设备、计算机、软件及辅助设备;销售医疗器械II类;产品设计;维修仪器仪表;维修计算机;计算机系统服务;基础软件服务;应用软件服务;软件开发;软件资询;运输代理服务;货物进出口;技术进出口;自然科学研究与试验发展;工程和技术研究与试验发展;农业科学研究与试验发展;医学研究与试验发展;企业管理;投资管理;资产管理;财务咨询(不得开展审计、验资、查帐、评估、会计咨询、代理记账等需经专项审批的业务,不得出具相应的审计报告、验资报告、查帐报告、评估报告等文字材料);经济贸易咨询;投资咨询;企业管理咨询;教育咨询;文化咨询;承办展览展示活动。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

联系方式

锐峰先科技术有限公司

公司地址

联系人：冯经理，手机：13911457960，电话：400 9988 118，地址：北京市海淀区厂西门路2号吉友大厦4015室

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公司地址： 联系人：冯经理，手机：13911457960，电话：400 9988 118，地址：北京市海淀区厂西门路2号吉友大厦4015室 联系人： 冯经理，手机：13911457960 邮编： 100097

主营产品：

拉力试验机 其它无损设备 芯片开封机 AOI光学自动检测设备 键合机 焊线机 植球机 贴片机/粘片机

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