德国Diener electronic 2017新产品Zepto&Femto RIE 正式开始销售
一、经济型桌上型等离子表面处理仪Zepto为全球众多高校、科研院所、企业R&D所青睐,2017年7月开始,Diener electornic 推出新款Zepto。
增加了射频(13.56MHz)发生器的功率,从0~50W无极可调升级为0~200W无极可调。
标准配置铰链门,观察窗
新式手动控制开关,避免误操作
Zepto(13.56MHz,0~200W)预计8月份开始为中国客户做样测试。
二、Femto RIE 经济型桌上型蚀刻机
PCCE自动控制
13.56MHz 0~300W
RIE 电极
1~6‘’ Wafer
CF4,O2,Ar ect.
上海尔迪仪器科技有限公司是德国Diener electronic大中华区的总代理,负责Diener electronic产品的销售与售后。
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