核心参数
产地类别: 进口
测量原理: 电容式
测量范围: 二维表面轮廓测量 可选择三维测量以及数据分析
探针尖半径: 50nm~25um
探针作用力: 1~15mg
扫描长度: 55mm 2英寸)
台阶高度重复性: <5
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