bruker布鲁克 JV-DX X射线衍射仪 XRD

bruker布鲁克 JV-DX X射线衍射仪 XRD

——X射线测量满足您的研发需求

Jordan Valley 的 Delta-X 是用于材料研究、工艺开发和质量控制的新一代柔性 X 射线衍射仪器。 该系统具有全自动源和检测器光学元件以及水平样品安装，可以在完全计算机/配方控制下在标准和高分辨率 X 射线衍射和 X 射线反射率模式之间切换，而无需手动更改配置。 这可确保每次使用佳工具配置，而无需专家设置工具以供使用。

• 样品的自动校准、测量和分析
• 测量的自动化程度由用户定义
• 使用 300 毫米欧拉支架实现高精度样品定位和扫描
• 全300mm 晶圆水平贴装和映射
• 由于 100° 倾斜 (Chi) 和无限方位角旋转 (Phi)，可以进行极点图和残余应力测量
• 根据请求的测量进行智能自动工具对齐和重新配置
• 行业领·先的设备控制和分析软件
• 使用高分辨率测角仪进行准确和精确的测量
• 高强度光源和光学元件可实现快速测量
• 可用的技术和参数范围广泛
• 由拥有 30 多年经验和庞大的全球安装基础的高分辨率 X 射线衍射领域的专家打造

自动源和检测器阶段

• 光源光学器件的开发考虑到了易用性和佳性能。 所有系统均标配平行光束多层反射镜，可提供适用于 XRR 和 XRD 测量的高强度光束。
• 为了启用HRXRD，可以安装一系列晶体光学器件，以涵盖从8” (Ge 004) 到 >40” (Ge 111) 的分辨率。 可根据要求提供定制晶体。
• 它们会自动切换进出光束路径，以便能够在同一自动测量批次中覆盖适用于不同基板类型和不同技术的光束配置。 与其他系统不同，无需手动从系统中移除镜子或晶体，以确保它们不会损坏或错位。

高分辨衍射仪 & X 射线反射率

高分辨率 XRD 是第·一原理测量，可以确定外延层的厚度、成分、松弛、应变、掺杂剂水平和误切

•直接测量多层结构内层的松弛/应变/组成
•在需要时将三轴分析仪晶体自动插入和对齐到光束中
•自动样品校准、测量、分析和报告
•倒数空间图在几分钟内完成并使用PeakSplit 进行分析
•可以使用模拟双轴和三轴衍射扫描
• JV-RADS分析软件

X 射线反射率 (XRR) 是第·一原理测量，可以确定薄膜的厚度、密度和粗糙度

•第·一原理，无损测量
• XRR 对材料质量不敏感，因此层可以是非晶、多晶或外延层
•金属、氮化物、氧化物、有机物、聚合物……
•自动样品校准、测量、分析和报告
•厚度范围从 1nm 到 1μm，取决于吸收

分析软件

JV-DX 系统上使用的分析软件套件以 30 年的 X 射线表征和薄膜计量经验为基础。 基于在 Bede Scientific 的分析软件套件中，JV-DX 分析包包括行业领·先的高分辨率 X 射线衍射 (HRXRD)、X 射线反射率 (XRR) 和 XRD 软件模拟软件。

bruker布鲁克 JV-DX X射线衍射仪 XRD规格