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等离子灰化仪PR300设备主要技术指标及功能配置

2013-10-30 17:21

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资料摘要:

设备主要技术指标及功能配置: (一)、主要技术指标 1. 工作模式:DP方式 2. RF功率:max.300W可调 3. RF振荡频率:13.56MHz 4. 输出阻抗:50Ω 5. 调谐方式:手动2轴同调方式 6. 反应槽尺寸:ø64×160mm,3个反应室 7. 气体输入口:1/4” 8. 外形尺寸:438×520×656(W×D×H) 9. 重量:38Kg 10. 工作电源:单相AC100V/1KVA
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