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产品介绍 Bruker FilmTek CD椭偏仪

2022-09-13 11:40

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资料摘要:

——多模态临界尺寸测量和薄膜计量学 FilmTekTM CD光学临界尺寸系统是我们解决方案,可用于1x nm设计节点及更高级别的全自动化、高通量CD测量和高级薄膜分析。该系统同时提供已知和完全未知结构的实时多层堆叠特性和CD测量。
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