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无油涡旋真空泵的优点及应用

2021-11-08 13:24

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资料摘要：

在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点: ①.无油，无摩擦——真空腔内无油，非接触，无磨损，不产生微粒尘埃污染，可获得清洁真空; ②.抽气量大——双涡旋盘，结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源; ③.抽气效率高——带有3-4个抽气单元，压差小;大气与真空之间由O型圈密封，泄漏低;
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