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核心参数
仪器种类： 其它
产品类型： 无油泵
产地类别： 进口
抽气速率： 60,000
最大真空度： 0.8
外部尺寸： 1370×850×1295
重量： 920
电机功率： W
KASHIYAMA大排量真空泵SDL36E60
1.可用于大尺寸的Wafer & FPD
大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.缩短周期时间
大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，最适合大型L/L室
用于溶剂抽空的泵也在排队
KASHIYAMA大排量真空泵SDL36E60
| 型号 | SDL36E60 |
| 最大排气速度 [L/min] *1 | 60,000 |
| 极限真空度 [Pa] *1 | 0.8 |
| 电源电压 (50/60Hz) | 3Phase AC200～220V,?380～480V |
| 尺寸 [mm] L×W×H | 1370×850×1295 |
| 重量 [kg] | 920 |
*1) 氮气吹扫不工作状态下
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