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核心参数
仪器种类： 高温烘箱
产地类别： 进口
温度范围： 室温+50~360℃
温度波动： 0.5℃
外形尺寸： 1090x950x1540mm
内胆尺寸： 450x450x450mm
内胆材质： 不锈钢
加热方式： 热循环加热
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。
特点
最高工作温度360℃和500℃、洁净度100 级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100 级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。
通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。
安全性
拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检
测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏
电漏电保护开关等安装装置。
用户单位
采购时间
采购数量
沈阳东软医疗系统有限公司
2017/03/08
1
上海泊燊医疗器械有限公司
2017/08/09
1
杭州巴泰医疗器械
2017/01/05
1
爱普科斯(珠海)有限公司
2021/02/09
1
美特科技（苏州）有限公司
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2021/07/01
企业名称
上海尔迪仪器科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
9131011206939727XX
成立日期
2013-06-04
注册资本
人民币1000.0000万元整
经营范围
一般项目:从事仪器仪表科技领城内的技术开发、技术咨询、技术服务
上海尔迪仪器科技有限公司
公司地址
上海市闵行中春路7001弄明谷科技园C座1003室
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