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德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备

品牌: Diener
产地: 德国
型号: TETRA240
报价: 面议
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产品介绍
简介
该PECVD系统适用于沉积多种高质量薄膜,包括SiO2、Si3N4、类金刚石及光学薄膜等。主要技术参数涵盖RF发生器功率0~3000W、240L防腐蚀腔体、多路工艺气体通道与MFC控制、以及加热至80℃等功能,支持脉冲模式和安全阀设计,确保高效、安全的薄膜制备过程。

该PECVD系统可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等。


主要技术参数:

PC控制软件

RF发生器 0~3000W 脉冲模式

腔体防腐处理,400*400*1500mm,240L

腔体加热80℃

带观察窗

多路工艺气体通道,MFC控制 防腐处理

HMDSO单体通道

易燃易爆气体安全阀

Gas Shower气浴电极

设备外尺寸2000*600*1700mm

进口真空泵组

电压 3项400V


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Diener化学气相沉积(CVD)TETRA240的工作原理介绍

化学气相沉积(CVD)TETRA240的使用方法?

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材料

工商信息

企业名称

上海尔迪仪器科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

9131011206939727XX

成立日期

2013-06-04

注册资本

人民币1000.0000万元整

经营范围

一般项目:从事仪器仪表科技领城内的技术开发、技术咨询、技术服务

联系方式
上海尔迪仪器科技有限公司为您提供德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备TETRA240,DienerTETRA240产地为德国,属于化学气相沉积设备,除了德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供Diener PlasmaBeam 等离子表面处理装置、Diener PLASMA 大气压等离子清洗机、Diener ZEPTO Plasma 等离子清洗机 ,尔迪仪器客服电话400-816-7838,售前、售后均可联系。
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