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CAMECA二次离子质谱仪QUAD4550

品牌: Cameca
产地: 法国
型号: QUAD4550
报价: ¥2000万 - 3000万
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核心参数

仪器种类: 四极杆

原始束流或速能量: 250ev-5kev

质量分析范围: 1-350

质量分辨率: n.a

产品介绍
半导体中的四极杆SIMS掺杂物深度剖析和薄层分析

CAMECA SIMS 4550为光学器件中的硅、高k、硅锗以及III-V族化合物等复合材料的薄层提供超浅深度剖析、痕量元素和组分测量等一系列扩展功能。


高深度分辨率和高通量
随着器件尺寸不断缩小,当今半导体的注入物剖面和层厚度通常在1-10纳米的范围内。SIMS 4550通过提供碰撞能量可从5keV降至低于150eV的氧和铯高密度一次离子束进行优化,充分满足上述应用领域的需求。

灵活性
CAMECA的SIMS 4550是一款动态SIMS工具,可在溅射条件(碰撞角度、能量、物种)方面提供全面的灵活性。在样品溅射过程中,通过电荷补偿(电子枪、激光)专用选项可以轻松分析绝缘材料。SIMS 4550可测量层厚度、对准度、陡度、完整性、均匀性和化学计量。样品架可容纳多种样品:几毫米的薄片至直径100毫米的样品。

高精度和自动化
先进的四极杆分析仪的光路、峰噪比等都是降低痕量元素检出限的关键因素。凭借先进的特高真空设计以及低至E-10mbar(E-8Pa)范围内的主室压力,SIMS 4550可为氢、碳、氮和氧提供出色的灵敏度。超稳定的离子源和电子设备确保达到较高精度以及RSD小于0.2%的测量重复性。
通过易于使用的软件、预定义方案、远程操作以及故障排除,充分考虑了人为因素对精度的影响。每次测量的所有仪器参数设置都存储在数据库中。因此重复测量只需点击几下鼠标即可完成。其他自动化功能 

售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训:
免费仪器保养:
保内维修承诺: 保修期内免费维修
报修承诺: 72小时抵达现场
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Cameca二次离子质谱QUAD4550的工作原理介绍

二次离子质谱QUAD4550的使用方法?

CamecaQUAD4550多少钱一台?

二次离子质谱QUAD4550可以检测什么?

二次离子质谱QUAD4550使用的注意事项?

CamecaQUAD4550的说明书有吗?

Cameca二次离子质谱QUAD4550的操作规程有吗?

Cameca二次离子质谱QUAD4550报价含票含运吗?

CamecaQUAD4550有现货吗?

工商信息

企业名称

阿美特克商贸(上海)有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

913100006660062498

成立日期

2007-09-06

注册资本

150000

经营范围

联系方式
CAMECA SAS为您提供CamecaCAMECA二次离子质谱仪QUAD4550,CamecaQUAD4550产地为法国,属于二次离子质谱,除了CAMECA二次离子质谱仪QUAD4550的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多二次离子质谱,CAMECA客服电话,售前、售后均可联系。

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公司名称: CAMECA SAS

公司地址: 中国(上海)自由贸易试验区富特东三路526号1幢二层A1,A4部位 联系人: CAMECA 邮编: 200131

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