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CAMECA全自动在线二次离子质谱仪AKONIS

品牌： Cameca
产地： 法国
型号： AKONIS
报价： ¥3000万 - 4000万
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核心参数

仪器种类： 磁质谱

原始束流或速能量： n.a

质量分析范围： n.a

质量分辨率： n.a

产品介绍
用于半导体晶圆厂中成分测量的全自动 SIMS

AKONIS SIMS 工具通过直接在半导体生产线中提供对注入分布、成分分析和界面数据的高产量、高精度检测，填补了半导体制造工艺中的重要空白。AKONIS 有非常高的自动化水平，确保了各种工具在晶圆厂工艺控制和工具之间匹配方面的可重复性。


除传统的通过表征实验室为半导体行业提供支持的IMS Wf/SC Ultra和 SIMS 4550（四极杆 SIMS）系列外，AKONIS作为其 补充，可实现仪器设置和采集例程的完全自动化，从而可在分析灵敏度不受影响的情况下实现快速的厂内分析。AKONIS 受益于极低冲击能量（EXLIE）离子色谱柱技术（< 150 eV）的发展，与带高分辨率平台的整片晶圆处理系统相结合，可在最小 20 μm 的压焊点上进行测量。

推动实现 N5 及后继制程的高产量

SiGe 和 SiP 多层堆叠的高分辨率成分和快速掺杂物深度剖析
无与伦比的最小 20 μm 在压焊点上的检测限
将数据反馈到生产线的时间缩短了 97% 以上
光片和图案化的整片晶圆测量
图案识别引擎与高分辨率干涉测量平台相结合，可实现 < 2 μm 的位置精度
基于独特材料数据库的直观recipe创建
SEMI 认证（S2/S8、E4、E5、E39、E84...）
低购置成本

售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 无
免费仪器保养： 无
保内维修承诺： 保修期内免费维修
报修承诺： 72小时抵达现场
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Cameca二次离子质谱AKONIS的工作原理介绍

二次离子质谱AKONIS的使用方法?

CamecaAKONIS多少钱一台?

二次离子质谱AKONIS可以检测什么？

二次离子质谱AKONIS使用的注意事项？

CamecaAKONIS的说明书有吗？

Cameca二次离子质谱AKONIS的操作规程有吗？

Cameca二次离子质谱AKONIS报价含票含运吗？

CamecaAKONIS有现货吗？

工商信息

企业名称

阿美特克商贸（上海）有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

913100006660062498

成立日期

2007-09-06

注册资本

150000

经营范围

联系方式

CAMECA SAS

公司地址

中国(上海)自由贸易试验区富特东三路526号1幢二层A1,A4部位

客服电话

CAMECA SAS为您提供CamecaCAMECA全自动在线二次离子质谱仪AKONIS，CamecaAKONIS产地为法国，属于二次离子质谱，除了CAMECA全自动在线二次离子质谱仪AKONIS的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多二次离子质谱,CAMECA客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： CAMECA SAS

公司地址： 中国(上海)自由贸易试验区富特东三路526号1幢二层A1,A4部位 联系人： CAMECA 邮编： 200131

主营产品：

二次离子质谱 透射电子显微镜（透射电镜、TEM） 电子探针X射线微区分析仪(EPMA)

友情链接：

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