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CAMECA二次离子质谱仪IMS Wf和SC Ultra

品牌： Cameca

产地：法国

型号： IMS WF/SC Ultra

报价： ¥3000万 - 4000万

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CamecaIMS WF/SC Ultra有现货吗？

核心参数

仪器种类：磁质谱

原始束流或速能量： 150ev-13kev

质量分析范围： 1-360

质量分辨率： 20000

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产品介绍

适用于半导体应用的高性能低能量SIMS

IMS Wf和SC Ultra经专门设计，可充分满足高级半导体对动态SIMS测量日益增长的需求该仪器可提供大范围的冲击能量（150 eV到13 keV），不影响质量分辨率和一次离子束密度，可确保在高通量条件下为具挑战性的应用提供卓越的分析性能：超浅能量和高能量注入物、超薄氮氧化物、高k金属栅极、硅锗掺杂层，Si:C:P结构、PV和LED器件及石墨烯等等。

从标准到超浅深度剖析
对半导体进行分析的首要条件是优化SIMS分析条件以进行超浅深度剖析，而无需舍弃标准深度剖析应用。CAMECA因此开发了独特的SIMS仪器设计，能够溅射具有大范围碰撞能量的样品：从用于厚结构的高能量（keV范围）到用于超薄结构的超低能量（≤150eV）。这种碰撞能量选择的灵活性适用于不同的控制良好的溅射条件（物种、入射角等）。

CAMECAIMS Wf和SC Ultra可提供此类极限低碰撞能量（EXLIE）功能的SIMS仪器，且在高质量分辨率和高透过率方面毫不逊色。

高自动化水平
随着SIMS技术的成熟，用户希望能够降低实现高再现性和高精度测量所需的专业知识要求。未来发展趋势显然是无人值守的自动分析。CAMECA IMS Wf和SC Ultra利用计算机自动化应对该挑战，确保完全控制所有分析参数（分析方案、仪器设置等）。

气锁系统、样品台和分析室已进行了优化，最多可容纳300毫米的晶圆（IMS Wf型号），并可在一批次中装载大量样品——在IMS Wf型号中最多可装载100个样品，同时还提供气锁和分析室之间的完全电动化转移。

凭借高自动化水平，IMS Wf和SC Ultra可执行快速深度剖析，具有优化的样品通量和出色的测量稳定性，确保了SIMS工具生产率。

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训：无

免费仪器保养：无

保内维修承诺：保修期内免费维修

报修承诺： 72小时抵达现场

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Cameca二次离子质谱IMS WF/SC Ultra的工作原理介绍

二次离子质谱IMS WF/SC Ultra的使用方法?

CamecaIMS WF/SC Ultra多少钱一台?

二次离子质谱IMS WF/SC Ultra可以检测什么？

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Cameca二次离子质谱IMS WF/SC Ultra报价含票含运吗？

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工商信息

企业名称

阿美特克商贸（上海）有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

913100006660062498

成立日期

2007-09-06

注册资本

150000

经营范围

联系方式

CAMECA SAS

公司地址

中国(上海)自由贸易试验区富特东三路526号1幢二层A1,A4部位

客服电话

CAMECA SAS为您提供CamecaCAMECA二次离子质谱仪IMS Wf和SC UltraIMS WF/SC Ultra，CamecaIMS WF/SC Ultra产地为法国，属于二次离子质谱，除了CAMECA二次离子质谱仪IMS Wf和SC Ultra的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多二次离子质谱,CAMECA客服电话，售前、售后均可联系。

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