应用：利用SEM和Micro-XRF联用技术分析LED

      发光二极管（英语：Light-Emitting Diode，简称LED） 是一种能将电能转化为光能的半导体电子元件。这种电子元件早在1962年出现，早期只能发出低光度的红光，之后发展出其他单色光的版本，时至今日能发出的光已遍及可见光、红外线及紫外线，光度也提高到相当的光度。而用途也由初时作为指示灯、显示板等；随着技术的不断进步，发光二极管已被广泛地应用于显示器、电视机采光装饰和照明。

    微区X射线荧光光谱（Micro-XRF）可以跟电镜（SEM）联用在样品仓内对样品进行深层成分分析，结合能谱（EDX）可获得更多样品信息。其原理是利用50kV的X射线照射样品，通过收集激发出来的特征X射线来分析元素。Micro-XRF相对于EDX，其能分析更深层的元素，且对重元素的特征X射线激发率更高，同时可以避免荷电现象的影响。

    图1是利用micro-XRF对LED分析的结果（白光LED的Micro-XRF mapping结果）。图中可见我们不需要观测截面就可分析出环氧树脂中的元素（Sr , Y）及Ga，甚至700um深层的电极Ag层都能精确地被分析出。（实验条件：Acc. Voltage 50kV, Mag. 25x, Analysis time 10hours.）

（LED截面EDX分析结果：Hitachi SU3500）

SU3500  http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C168115.htm

关于日立高新技术公司：

日立高新技术公司，于2013年1月，融合了X射线和热分析等核心技术，成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术，精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新，因此公司变为日立高新的子公司，同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学，扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料，产品线更丰富的日立高新技术集团，将继续引领科学领域的核心技术。更多信息敬请关注日立高新官方网站：http://www.hitachi-hightech.com/cn/